大学高真空PECVD连续制备系统招标公告-采招网

大学高真空PECVD连续制备系统招标公告

招标
湖南省
发布：2011-12-27
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招标正文

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大学高真空PECVD连续制备系统招标公告

湖南师范大学该项目申请单一来源采购方式的理由：

本系统为非标定制产品，采用三个真空生长室分体式镀膜方式，可完成高真空下PECVD镀膜工艺。真空室依次为PECVD的进出样室、P室、I室、N室组成，采用直线形连续镀膜线列式结构。每两个真空室之间有插板阀隔断，每个生长室安装射频偶合电极板，样品加热炉，室中的样片传递由导轨小车传输机构手动完成；电控系统有射频电源、加热电源、烘烤照明电源、总控制电源等。此外还有泵抽系统、真空测量系统、气路系统、和微机控制工作真空系统等。

本系统生产厂商为中科院沈阳科学仪器有限公司，PECVD设备是太阳能电池制备的核心设备，沈阳科仪公司凭借成熟的PECVD技术，解决了该设备电极设计、加热器设计、大面积进气均匀性等核心技术难题，并有成功生产三生长室PECVD经验。本系统在其原有三生长室PECVD系统基础上提出了一些改进意见，如三生长室共用一套真空系统，压力采用进口MKS自动压力控制系统等。这样可在不影响我们实验设计基础上，成功将预算降至可接受范围。

我校相关技术人员也曾联系过其他PECVD生产厂家，有些专做企业项目嫌我们项目太小，有些勉强可以做，但要加入研制费用，结果大大超我们的预算。故申请进行单一来源采购。

本公告有效期从2011年12月28日至2012年元月2日。有关单位和个人如对本项目采用单一来源采购方式有异议，请在公告有效期内以书面形式向政府采购监督管理部门反映。

政府采购监督管理部门联系电话：0731---******** 传真：0731---********

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