硅片清洗机改造(清设比选20221678号)采购公告

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硅片清洗机改造(清设比选20221678号)采购公告

采购项目名称:PVDF 室温槽
采购单位:清华大 (略) 学院净化实验室104 房间
付款方式:合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求:成交后5个工作日
交货时间要求:签订合同后45个工作日
交货地址:清华大 (略) 学院净化实验室104 房间
技术参数及配置要求:1)槽体材料:PVDF;2)使用溶液:HNO3+NH4HF23)清洗片盒数量:6"硅片,单标准片盒/槽;4)内槽尺寸:240(长)mm×220(宽)mm×260(高)mm (参考);5)酸液注入方式:手动;6)槽体结构:PVDF室温槽。7)温控控制:室温;8)废酸排放方式:槽体底部开电控的废液排放孔,程控进行排放至废液桶;9)具有药液上下限报警功能;10)槽盖方式:PTFE手动盖;11)垫板:槽体 (略) 眼式PTFE垫板,垫板厚度8mm。
质保期:12个月

采购项目名称:PVDF 室温槽
采购单位:清华大 (略) 学院净化实验室104 房间
付款方式:合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求:成交后5个工作日
交货时间要求:签订合同后45个工作日
交货地址:清华大 (略) 学院净化实验室104 房间
技术参数及配置要求:1)槽体材料:PVDF;2)使用溶液:HNO3+NH4HF23)清洗片盒数量:6"硅片,单标准片盒/槽;4)内槽尺寸:240(长)mm×220(宽)mm×260(高)mm (参考);5)酸液注入方式:手动;6)槽体结构:PVDF室温槽。7)温控控制:室温;8)废酸排放方式:槽体底部开电控的废液排放孔,程控进行排放至废液桶;9)具有药液上下限报警功能;10)槽盖方式:PTFE手动盖;11)垫板:槽体 (略) 眼式PTFE垫板,垫板厚度8mm。
质保期:12个月

    
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