采购项目名称：热蒸发镀膜系统
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后30个工作日
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：1) 真空腔室：Φ500×H450mm；2) 真空极限：优于 3.0×10-5Pa；3) 抽速：分子泵完全启动，抽至 3.0×10-4Pa≤15min；4) 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸/面积：112×112mm，该范围内可装卡15～25mm 方形 ITO/FTO 玻璃/硅片 16～25片；5) 蒸发源及电源：3 组蒸发源，各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源）；3kW真空蒸发专用电源一台；6) 膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚；7) 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作
质保期：24个月

采购项目名称：热蒸发镀膜系统
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后30个工作日
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：1) 真空腔室：Φ500×H450mm；2) 真空极限：优于 3.0×10-5Pa；3) 抽速：分子泵完全启动，抽至 3.0×10-4Pa≤15min；4) 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸/面积：112×112mm，该范围内可装卡15～25mm 方形 ITO/FTO 玻璃/硅片 16～25片；5) 蒸发源及电源：3 组蒸发源，各源均有水冷且独立，可蒸镀金属材料（舟式源/挂丝源）和有机材料（坩埚源/盒式源）；3kW真空蒸发专用电源一台；6) 膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚；7) 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作
质保期：24个月