中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所InP刻蚀机采购项目国际招标公告(1)-0729-224OIT661860/02
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所InP刻蚀机采购项目国际招标公告(1)-0729-224OIT661860/02
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | InP刻蚀机 | 1套 | 本设备用于2”、3”InP光子集成芯片的低损伤刻蚀和钝化层的低损伤刻蚀 | 收到预付款后12个月内到货 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | InP刻蚀机 | 1套 | 本设备用于2”、3”InP光子集成芯片的低损伤刻蚀和钝化层的低损伤刻蚀 | 收到预付款后12个月内到货 |
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