中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能原子层沉积系统采购项目国际招标公告(1)-0729-224OIT661860/05
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所多功能原子层沉积系统采购项目国际招标公告(1)-0729-224OIT661860/05
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 多功能原子层沉积系统 | 1套 | 本设备用于200mm及以下尺寸样品的氧化物、氮化物及金属薄膜材料的单层或多层原子层沉积工艺。 | 合同签订后12个月内 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 多功能原子层沉积系统 | 1套 | 本设备用于200mm及以下尺寸样品的氧化物、氮化物及金属薄膜材料的单层或多层原子层沉积工艺。 | 合同签订后12个月内 |
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