项目概况

大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 采购项目的潜在供应商应在大连 (略) （ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）获取采购文件，并于**日 09点30分（北京时间）前提交响应文件。

一、项目基本情况

项目编号：DUTASC-*

项目名称：大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目

采购方式：竞争性磋商

预算金额：190.* 万元（人民币）

最高限价（如有）：190.* 万元（人民币）

采购需求：

大连理工 (略) 拟开展芯片工艺中等离子体在线诊断方面的研究，研究等离子体刻蚀技术，故需采购射频容性耦合等离子体刻蚀实验台。射频容性耦合等离子体源刻蚀实验台主要分三部分（1）等离子体真空腔体；（2）射频电源；（3）真空获得设备。其功能：于将射频电源的能量通过容性耦合的方式注入到真空室内的平行板之间，击穿工作气体，产生大面积稳定的等离子体。等离子体中产生的活性基团及高能离子分别化学反应及溅射的方式与材料相互作用，对材料进行刻蚀或者沉积薄膜。因此需要采购A包：等离子体真空腔体1套：主腔体和上、下电极采用进口美铝材质、上电极设置匀气盘、上盖控温110摄氏度、下电极控温25-450℃、进气及抽气管道采购316L不锈钢；腔室上盖采用机械横臂提升装置；还包括蝶阀控压、腔体控温、气压监测、气体控制箱；本底真空≤2×10^-3Pa。B包：射频电源及自动匹配器各2台（13.56MHz 1kW 和60MHz 2.5kW各1台）、真空获得设备2台（含一级真空获得设备和二级真空获得设备）。

本项目B包已经财政部门审核，接受进口产品投标，本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品。

注：本项目招标以包为基本单位，兼投不兼中，如同一供应商在两个包组均为第一中标候选人时，则按照包组序号顺序确定中标人。

合同履行期限：A包：合同签订后18个月；B包：合同签订后24个月。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

A包：

（1）专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位视同小微企业（详见工信部联[2011]300号《关于印发中小企业划型标准规定的通知》）；

（2）节能、环保产品优先采购等。

B包：

（1）非专门面向中小企业采购项目；

（2）中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位、节能、环保产品优先采购等。

3.本项目的特定资格要求：A包：无。B包：代理商须具有制造商合法有效授权（国产设备除外）。

三、获取采购文件

时间：**日至**日，每天上午8:00至11:30，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：大连 (略) （ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

方式：现场获取或通过电子邮箱提交相关材料扫描件进行获取。

售价：￥300.0元（人民币）

四、响应文件提交

截止时间：**日 09点30分（北京时间）

地点：大连 (略) 会议室（ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

五、开启

时间：**日 09点30分（北京时间）

地点：大连 (略) 会议室（ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

六、公告期限

自本公告发布之日起3个工作日。

七、其他补充事宜

1、预算金额：190万元（A包：95万元；B包：95万元。）

最高限价：190万元（A包：95万元；B包：95万元。）

2、现场报名：在磋商文件发售期内，报名时携带营业执照(或事业单位法人证书)复印件、法定代表人身份证明原件或法人授权委托书原件及被授权人身份证原件，上述证明材料复印件须加盖企业公章，报名后，发售磋商文件。

3、通过电子邮箱提交材料扫描件获取：在磋商文件发售期内，申请获取磋商文件的潜在供应商请将营业执照(或事业单位法人证书)副本复印件、法定代表人身份证明（法定代表人报名提供）或法定代表人授权委托书（授权委托人报名提供，应附法人代表和被授权人的身份证明复印件）、《报名及购买文件登记表》（须含法定代表人或授权委托人的电子邮箱、联系电话、办公电话等）、磋商文件费汇款凭证（ (略) 账户电汇至采购代理机构银行账户，须备注项目名称）等加盖公章、扫描后发至电子邮箱 *@*26.com，经采购代理机构项目负责人确认收到后发售磋商文件。

4、磋商保证金：A包不收取、B包人民币19000.00元整保证金形式及缴纳方式见磋商文件。

供应商通过支票缴纳或汇款至“开户名：大连 (略) ；开户银行：中国民生银行大连中山支行；开户账号：*”

注：1.如供应商为“通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名”，磋商文件费以实际到账时间为准，报名截止时间后收到的材料及费用不予认可。

5、因疫情防控需要，为助力企业复工复产和疫情防控，有效减少人员聚集，防范项目评审期间疫情传播的潜在风险，本项目以“不见面”方式进行磋商。

八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：大连理工大学　　　　　

地址：大连理工大学采购与招标管理办公室（大连理工大学南门科技园C座）411室　　　　　　　　

联系方式：李老师/孙老师；0411-*/6297　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：大连 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室　　　　　　　　　　　　

联系方式：张哲华0411-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人： 张哲华

电　话：　　0411-*

项目概况

大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目 采购项目的潜在供应商应在大连 (略) （ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）获取采购文件，并于**日 09点30分（北京时间）前提交响应文件。

一、项目基本情况

项目编号：DUTASC-*

项目名称：大连理工大学射频容性耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目

采购方式：竞争性磋商

预算金额：190.* 万元（人民币）

最高限价（如有）：190.* 万元（人民币）

采购需求：

大连理工 (略) 拟开展芯片工艺中等离子体在线诊断方面的研究，研究等离子体刻蚀技术，故需采购射频容性耦合等离子体刻蚀实验台。射频容性耦合等离子体源刻蚀实验台主要分三部分（1）等离子体真空腔体；（2）射频电源；（3）真空获得设备。其功能：于将射频电源的能量通过容性耦合的方式注入到真空室内的平行板之间，击穿工作气体，产生大面积稳定的等离子体。等离子体中产生的活性基团及高能离子分别化学反应及溅射的方式与材料相互作用，对材料进行刻蚀或者沉积薄膜。因此需要采购A包：等离子体真空腔体1套：主腔体和上、下电极采用进口美铝材质、上电极设置匀气盘、上盖控温110摄氏度、下电极控温25-450℃、进气及抽气管道采购316L不锈钢；腔室上盖采用机械横臂提升装置；还包括蝶阀控压、腔体控温、气压监测、气体控制箱；本底真空≤2×10^-3Pa。B包：射频电源及自动匹配器各2台（13.56MHz 1kW 和60MHz 2.5kW各1台）、真空获得设备2台（含一级真空获得设备和二级真空获得设备）。

本项目B包已经财政部门审核，接受进口产品投标，本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品。

注：本项目招标以包为基本单位，兼投不兼中，如同一供应商在两个包组均为第一中标候选人时，则按照包组序号顺序确定中标人。

合同履行期限：A包：合同签订后18个月；B包：合同签订后24个月。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

A包：

（1）专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位视同小微企业（详见工信部联[2011]300号《关于印发中小企业划型标准规定的通知》）；

（2）节能、环保产品优先采购等。

B包：

（1）非专门面向中小企业采购项目；

（2）中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位、节能、环保产品优先采购等。

3.本项目的特定资格要求：A包：无。B包：代理商须具有制造商合法有效授权（国产设备除外）。

三、获取采购文件

时间：**日至**日，每天上午8:00至11:30，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：大连 (略) （ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

方式：现场获取或通过电子邮箱提交相关材料扫描件进行获取。

售价：￥300.0元（人民币）

四、响应文件提交

截止时间：**日 09点30分（北京时间）

地点：大连 (略) 会议室（ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

五、开启

时间：**日 09点30分（北京时间）

地点：大连 (略) 会议室（ (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室）

六、公告期限

自本公告发布之日起3个工作日。

七、其他补充事宜

1、预算金额：190万元（A包：95万元；B包：95万元。）

最高限价：190万元（A包：95万元；B包：95万元。）

2、现场报名：在磋商文件发售期内，报名时携带营业执照(或事业单位法人证书)复印件、法定代表人身份证明原件或法人授权委托书原件及被授权人身份证原件，上述证明材料复印件须加盖企业公章，报名后，发售磋商文件。

3、通过电子邮箱提交材料扫描件获取：在磋商文件发售期内，申请获取磋商文件的潜在供应商请将营业执照(或事业单位法人证书)副本复印件、法定代表人身份证明（法定代表人报名提供）或法定代表人授权委托书（授权委托人报名提供，应附法人代表和被授权人的身份证明复印件）、《报名及购买文件登记表》（须含法定代表人或授权委托人的电子邮箱、联系电话、办公电话等）、磋商文件费汇款凭证（ (略) 账户电汇至采购代理机构银行账户，须备注项目名称）等加盖公章、扫描后发至电子邮箱 *@*26.com，经采购代理机构项目负责人确认收到后发售磋商文件。

4、磋商保证金：A包不收取、B包人民币19000.00元整保证金形式及缴纳方式见磋商文件。

供应商通过支票缴纳或汇款至“开户名：大连 (略) ；开户银行：中国民生银行大连中山支行；开户账号：*”

注：1.如供应商为“通过电子邮箱提交报名材料扫描件进行报名”，磋商文件费以实际到账时间为准，报名截止时间后收到的材料及费用不予认可。

5、因疫情防控需要，为助力企业复工复产和疫情防控，有效减少人员聚集，防范项目评审期间疫情传播的潜在风险，本项目以“不见面”方式进行磋商。

八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：大连理工大学　　　　　

地址：大连理工大学采购与招标管理办公室（大连理工大学南门科技园C座）411室　　　　　　　　

联系方式：李老师/孙老师；0411-*/6297　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：大连 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 中山区常青街29号休斯顿公寓A座1001室　　　　　　　　　　　　

联系方式：张哲华0411-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人： 张哲华

电　话：　　0411-*