项目概况

清华大学接触式紫外光刻机购置项目 招标项目的潜在投标 (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层获取招标文件，并于**日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：CMEETC-227XO113KK527（清设招第*号）

项目名称：清华大学接触式紫外光刻机购置项目

预算金额：320.* 万元（人民币）

最高限价（如有）：320.* 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍：主要用于光电子、微电子、MEMS 微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光与套刻对准。

简要技术指标：（1）曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强；使用寿命大于5000 小时；（2）曝光模式：支持软接触、硬接触、接近和真空四种模式；（3）全自动对准模式：具有对准标记自动识别与自动记录功能，设定程序后，对准系统自动寻找对准标记并自动完成全部对准与曝光操作；（4）最大晶圆尺寸：6 英寸标准晶圆；（5）最大掩模版尺寸：7 英寸。详见公告附件。

合同履行期限：合同签订后270日内完成设备交货、安装及调试工作。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1 中小企业政策

本项目不专门面向中小企业预留采购份额。

2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。

3.本项目的特定资格要求：3.1在中华人民共和国境内注册；3.2通过“信用中国”网站（http://**.cn）和中国政府采购网（http://**.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；3.3单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；3.4为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；3.5必须向采购代理机构登记获取招标文件，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：**日至**日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层

方式：凡有意参加投标者，请于**日至**日（北京时间，下同），上午9时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分，自行选择以下方式获取招标文件：（1）网上获取：登*“中招联合招标采购平台”（网址http://**.cn/）上获取并下载招标文件。登录后点击“寻找商机”，找到本项目后点击“我要参与”，填写相应信息后“加入购物车”。在“我参与的项目”选择相应项目后的“购买招标文件”按钮，选择相应标包“去结算”，并进行下单操作，支付完成后可在线上下载招标文件。客服电话：010-*、010-*（客服工作时间：周一至周五上午9时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分）。（2）邮件或现场获取：在招标文件发售时间内（每日上午09时30分至11时30分，下午13时至17时，国家法定节假日除外），如采用邮件方式获取，*@*26.com，待采购代理工作人员确认后，通过邮件方式发布招标文件；如现场获取， (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层获取招标文件。获取招标文件时须提供法定代表人授权书、被授权人身份证复印件加盖公章、报名表格，采用网上获取或邮件获取的须提供相关资料扫描件，如采用现场获取的须提供相关资料原件。售价：500元，通过“中招联合招标采购平台”获取招标文件的，还需额外支付交易平台服务费，交易平台服务费一经收取不予退还。

售价：￥500.0元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：**日 14点00分（北京时间）

开标时间：**日 14点00分（北京时间）

地点： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.本项目需要落实的政府采购政策：

落实政府采购节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、促进残疾人就业等政策。

2.本项目公告仅在中国政府采购网、清华大学设备采购信息发布平台官方网站上发布。

3. 收款账户信息：

账户名称：中国 (略)

账 号：9558 8502 0000 0599 881

开 户 行：中国 (略) 北京海淀支行

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址： (略) 海淀区清华大学　　　　　　　　

联系方式：010-*　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：中国 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层　　　　　　　　　　　　

联系方式：010-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：姜琳琳

电　话：　　*、*

项目概况

清华大学接触式紫外光刻机购置项目 招标项目的潜在投标 (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层获取招标文件，并于**日 14点00分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：CMEETC-227XO113KK527（清设招第*号）

项目名称：清华大学接触式紫外光刻机购置项目

预算金额：320.* 万元（人民币）

最高限价（如有）：320.* 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍：主要用于光电子、微电子、MEMS 微纳图形加工工艺中高精度的紫外曝光与套刻对准。

简要技术指标：（1）曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定光强；使用寿命大于5000 小时；（2）曝光模式：支持软接触、硬接触、接近和真空四种模式；（3）全自动对准模式：具有对准标记自动识别与自动记录功能，设定程序后，对准系统自动寻找对准标记并自动完成全部对准与曝光操作；（4）最大晶圆尺寸：6 英寸标准晶圆；（5）最大掩模版尺寸：7 英寸。详见公告附件。

合同履行期限：合同签订后270日内完成设备交货、安装及调试工作。

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1 中小企业政策

本项目不专门面向中小企业预留采购份额。

2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。

3.本项目的特定资格要求：3.1在中华人民共和国境内注册；3.2通过“信用中国”网站（http://**.cn）和中国政府采购网（http://**.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；3.3单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；3.4为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动；3.5必须向采购代理机构登记获取招标文件，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：**日至**日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层

方式：凡有意参加投标者，请于**日至**日（北京时间，下同），上午9时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分，自行选择以下方式获取招标文件：（1）网上获取：登*“中招联合招标采购平台”（网址http://**.cn/）上获取并下载招标文件。登录后点击“寻找商机”，找到本项目后点击“我要参与”，填写相应信息后“加入购物车”。在“我参与的项目”选择相应项目后的“购买招标文件”按钮，选择相应标包“去结算”，并进行下单操作，支付完成后可在线上下载招标文件。客服电话：010-*、010-*（客服工作时间：周一至周五上午9时00分-11时30分，下午13时30分-17时00分）。（2）邮件或现场获取：在招标文件发售时间内（每日上午09时30分至11时30分，下午13时至17时，国家法定节假日除外），如采用邮件方式获取，*@*26.com，待采购代理工作人员确认后，通过邮件方式发布招标文件；如现场获取， (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层获取招标文件。获取招标文件时须提供法定代表人授权书、被授权人身份证复印件加盖公章、报名表格，采用网上获取或邮件获取的须提供相关资料扫描件，如采用现场获取的须提供相关资料原件。售价：500元，通过“中招联合招标采购平台”获取招标文件的，还需额外支付交易平台服务费，交易平台服务费一经收取不予退还。

售价：￥500.0元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：**日 14点00分（北京时间）

开标时间：**日 14点00分（北京时间）

地点： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.本项目需要落实的政府采购政策：

落实政府采购节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱企业发展、促进残疾人就业等政策。

2.本项目公告仅在中国政府采购网、清华大学设备采购信息发布平台官方网站上发布。

3. 收款账户信息：

账户名称：中国 (略)

账 号：9558 8502 0000 0599 881

开 户 行：中国 (略) 北京海淀支行

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址： (略) 海淀区清华大学　　　　　　　　

联系方式：010-*　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：中国 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层　　　　　　　　　　　　

联系方式：010-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：姜琳琳

电　话：　　*、*