详情见附件
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招标公告
一项目基本情况
1.项目编号：清设招第 * 号
2.项目名称：清华大学接触式紫外光刻机购置项目
3.项目预算金额：320 万元项目最高限价如有：320 万元。
4.采购需求：
包号 名称 数量 是否允许进口产品投标
01 接触式紫外光刻机 1套 是
设备用途介绍：主要用于光电子微电子MEMS 微纳图形加工工艺中高
精度的紫外曝光与套刻对准。
简要技术指标：1曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定
光强使用寿命大于5000 小时2曝光模式：支持软接触硬接触接近
和真空四种模式3全自动对准模式： 有对准标 自动 与自动
，设定 ，对准 自动 对准标 自动 全 对准与曝光
最大 ： 标准 最大 模 ： 。
公告件。
5.限：currency1 270 设备fifl调 工 。
6.本项目是否接投标：是 否。
的要求时
1. 中华 和采购第 定
2. 采购需的要求：
2.1 中小
本项目 中小 预 采购 额。
本项目 中小 小微 采购。 ： 的 全
要求的中小/小微 全 要求的中小/小微
接。
本项目预 采购项目预算 中小 采购。对于预 额，
的 要求的中小 要求的中小
接。预 额通过 进： / 。
2.2 采购的要求如有： / 。
3.本项目的 定要求：
3.1 中华 和
3.2 通过 用中 http://**.cn 和中采购
http://**.cn 用 时 投标 时 ，
大 违案件当事名单采购严 违 名
单的 应商，没有参加本项目的采购活动
3.3 单位负责 一或者存直接控股管理关 的 应商，得
时参加一包号的采购活动
3.4 某一包号 整设计范编 或者项目管理监理检测等
的 应商，得再参加该包的 他采购活动
3.5 必 采购代理机构登 获取招标文件，否则没有投标。
三获取招标文件
凡有意参加投标者，于**至**北京时
， ，上午9时00 -11时30 ， 午13时30 -17时00 ，自选
择 方式获取招标文件：1 上获取：登* 中招招标采购平台
址http://**.cn/上获取 载招标文件。登 击 商
机 ， 到本项目 击 我要参与 ，填写相应 息 加购 车 。
我参与的项目 选择相应项目 的 购买招标文件 按钮，选择相应标包
去结算 ， 进 单 ，支付 可线上 载招标文件。客 电话：
010-*-*客 工 时 ：周一至周五上午9时00 -11时
30 ， 午13时30 -17时00 。2邮件或现场获取：招标文件发售
时 每上午09时30 至11时30 ， 午13时至17时，家定节假
除外，如采用邮件方式获取，将 的相关的料扫描件发邮件至
zcjbidding126.com，待采购代理工 员确认 ，通过邮件方式发布招标文
件如现场获取， (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层
获取招标文件。
获取招标文件时 定代表授权书授权身 证复印件加盖公
章报名表，采用 上获取或邮件获取的 相关料扫描件，如采用现
场获取的 相关料原件。
售价：500元，通过 中招招标采购平台 获取招标文件的，还需额
外支付易平台 费，易平台 费一经 取 还。
四 投标文件 时 标时 和
投标 时 标时 ：2022 年12 月21 14 00 北京时 。
： (略) 海淀区车公庄西路* 19 号华通大厦 B 座南塔 14 层 。
五公告限
自本公告发布 5 工 。
他 事
1.本项目需要 的采购：
采购节 持发 区和 数 区
进中小 发 支持监 发 进 等。
2.本项目公告 中采购 清华大学设备采购 息发布平台 方
上发布。
3. 息：
名称：中机电工 招标有限公
号：9558 8502 0000 0599 881
：中工商 股 有限公 北京海淀支
对本招标 ，按 方式 。
1.采购 息
名 称：清华大学
址： (略) 海淀区清华大学
方式：010-*
2.采购代理机构 息
名 称：中机电工 招标有限公
址： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层
方式：010-*
3.项目 方式
项目 ：
电 话：**
邮 currency1：zcjbidding126.com
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招标公告
一项目基本情况
1.项目编号：清设招第 * 号
2.项目名称：清华大学接触式紫外光刻机购置项目
3.项目预算金额：320 万元项目最高限价如有：320 万元。
4.采购需求：
包号 名称 数量 是否允许进口产品投标
01 接触式紫外光刻机 1套 是
设备用途介绍：主要用于光电子微电子MEMS 微纳图形加工工艺中高
精度的紫外曝光与套刻对准。
简要技术指标：1曝光灯：LED 曝光灯，可通过软件连续调节和设定
光强使用寿命大于5000 小时2曝光模式：支持软接触硬接触接近
和真空四种模式3全自动对准模式： 有对准标 自动 与自动
，设定 ，对准 自动 对准标 自动 全 对准与曝光
最大 ： 标准 最大 模 ： 。
公告件。
5.限：currency1 270 设备fifl调 工 。
6.本项目是否接投标：是 否。
的要求时
1. 中华 和采购第 定
2. 采购需的要求：
2.1 中小
本项目 中小 预 采购 额。
本项目 中小 小微 采购。 ： 的 全
要求的中小/小微 全 要求的中小/小微
接。
本项目预 采购项目预算 中小 采购。对于预 额，
的 要求的中小 要求的中小
接。预 额通过 进： / 。
2.2 采购的要求如有： / 。
3.本项目的 定要求：
3.1 中华 和
3.2 通过 用中 http://**.cn 和中采购
http://**.cn 用 时 投标 时 ，
大 违案件当事名单采购严 违 名
单的 应商，没有参加本项目的采购活动
3.3 单位负责 一或者存直接控股管理关 的 应商，得
时参加一包号的采购活动
3.4 某一包号 整设计范编 或者项目管理监理检测等
的 应商，得再参加该包的 他采购活动
3.5 必 采购代理机构登 获取招标文件，否则没有投标。
三获取招标文件
凡有意参加投标者，于**至**北京时
， ，上午9时00 -11时30 ， 午13时30 -17时00 ，自选
择 方式获取招标文件：1 上获取：登* 中招招标采购平台
址http://**.cn/上获取 载招标文件。登 击 商
机 ， 到本项目 击 我要参与 ，填写相应 息 加购 车 。
我参与的项目 选择相应项目 的 购买招标文件 按钮，选择相应标包
去结算 ， 进 单 ，支付 可线上 载招标文件。客 电话：
010-*-*客 工 时 ：周一至周五上午9时00 -11时
30 ， 午13时30 -17时00 。2邮件或现场获取：招标文件发售
时 每上午09时30 至11时30 ， 午13时至17时，家定节假
除外，如采用邮件方式获取，将 的相关的料扫描件发邮件至
zcjbidding126.com，待采购代理工 员确认 ，通过邮件方式发布招标文
件如现场获取， (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层
获取招标文件。
获取招标文件时 定代表授权书授权身 证复印件加盖公
章报名表，采用 上获取或邮件获取的 相关料扫描件，如采用现
场获取的 相关料原件。
售价：500元，通过 中招招标采购平台 获取招标文件的，还需额
外支付易平台 费，易平台 费一经 取 还。
四 投标文件 时 标时 和
投标 时 标时 ：2022 年12 月21 14 00 北京时 。
： (略) 海淀区车公庄西路* 19 号华通大厦 B 座南塔 14 层 。
五公告限
自本公告发布 5 工 。
他 事
1.本项目需要 的采购：
采购节 持发 区和 数 区
进中小 发 支持监 发 进 等。
2.本项目公告 中采购 清华大学设备采购 息发布平台 方
上发布。
3. 息：
名称：中机电工 招标有限公
号：9558 8502 0000 0599 881
：中工商 股 有限公 北京海淀支
对本招标 ，按 方式 。
1.采购 息
名 称：清华大学
址： (略) 海淀区清华大学
方式：010-*
2.采购代理机构 息
名 称：中机电工 招标有限公
址： (略) 海淀区车公庄西路*19号华通大厦B座南塔14层
方式：010-*
3.项目 方式
项目 ：
电 话：**
邮 currency1：zcjbidding126.com
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