TGRI-2023-068询价函-蒸发镀膜机询价公告20230327
TGRI-2023-068询价函-蒸发镀膜机询价公告20230327
中国石油集团工 (略)
CNPCTubular Goods Research Institute
蒸发镀膜机
采购项目询价公告
本单位拟采购以下物资,欢迎具有相应资质能力的供应商积极参与,现将有关采购信息说明如下:
所需物资要求
技术指标要求:
1.蒸发镀膜室:镀膜室净尺寸:≥L500mm×W500mm×H650mm;SUS304不锈钢制作,方箱式,配有前、后门,前门水平滑开式,材质为锻铝,便于手套箱内操作;后门为侧开门,便于设备清理维护;特点:镀膜室配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试、使用,且可与现有手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封可靠,门框尺寸≥W560×H698;
2.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统,“两低一高”数显复合真空计;分子泵:抽速≥1300L/S,机械泵:抽速≥12L/S,
3.真空指标:极限真空:优于5.0×10-5Pa;(设备和手套箱分体,设备空载抽真空24小时)抽速:暴露大气后,抽真空至8.0×10-4Pa,用时≤40min;手套箱内开仓后,抽真空至8.0×10-4Pa,用时≤20min;设备升压率≤0.8Pa/h;
4.基片台:抽屉式结构,不小于210×210mm;配有气动基片台挡板;基片台电机驱动,旋转速度0~20转/分钟可调;蒸发源到样品垂直蒸发距离70mm可调;需根据用户要求定制掩膜板1套;
5.基片台水冷:水冷温度:10~35℃(循环水温度)。
6.蒸镀范围≥200×200mm内膜厚不均匀性≤5%;
7.金属蒸发源:水冷铜电极4组;
金属蒸发电源:逆变式蒸发电源,功率3kW,2台。1台电源切换2组蒸发源分时蒸镀。
有机蒸发源:2组,石英坩埚容量10cc,有效容量为6cc;倾斜指向基片台,保证镀膜均匀性及有机蒸发材料使用效率;
有机蒸发源适用温度:室温~600±1℃(真空状态);
有机蒸发电源:2套,采用每源独立PID智能温控+热电偶+加热电源闭环控温;
8.配6组气动挡板及源间防污隔板。
9.膜厚控制系统:膜厚监控仪1台,探头2支;可切换控制金属蒸发源速率,在线测量镀膜过程中膜厚变化,根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率,保证镀膜过程接近匀速稳定;
①高亮度,彩色 LCD显示器 – 可显示英文或中文;
②标准 RS-232;
③ "快速设置”菜单,6个与功能关联的按钮,和灵便的参数设定旋钮使得参数设置和操作更简单
④Windows? 程序,可开发, 测试,和下载工艺过程,也可将仪器数据记录至您的PC 上,用于工艺分析与质量控制;
⑤ 当淀积速率很低时,在 4每秒四次采样的分辨率可达到± 0 .012 Hz,在 0至50oC温度范围内的频率稳定性可达到±2 ppm,保证精确的工艺过程控制,
⑥ 贮存容量可高至 100个工艺过程,1,000 个膜层,50个膜系
⑦ 可用单探头监测源材料,也可用多探头分布监测,可切换控制其中1组蒸发源的速率;
⑧膜厚和速率分辨率:±0.015? 速率显示:0.01?/秒。
10.控制方式:PLC+触摸屏半自动控制。
11.报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。
12.冷却循环水机:功率不小于2P,制冷量不小于5.62kW,1台;
13.空气压缩机:排气量≥90L/min,储气罐容积≥38L(0.038m3),噪音:≤68dB,1台。
供应商资质要求
1、具有独立法人资格,持有效营业执照或事业单位法人证书,具有独立签订合同的权利和良好履行合同的能力。
2、财务要求:供应商须提供2021或2022年度经会计师事务所或审计机构审计的财务报告(须有注册 (略) 盖章,包括资产负债表、损益表、现金流量表),财务须状况良好,无资不抵债情况,具有有效履行合同资产能力。其他组织如事业单位、分支机构、 (略) (**日以后成立)等响应人若不能提供本单位的财务审计报告,须提供盖公章的2022年度财务报表或近三月开具的银行资信证明等有效证明文件。
3、近3年具有同类产品的销售业绩至少一项,证明材料包括合同及对应结算发票。
验收要求
1、供货周期:合同签订之日起180日内。
2、验收标准:满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。
3、质量标准:满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。
4、质保期:交货验收合格之日起12个月。
四、报价要求(请按以下格式进行报价)
表1报价明细表
序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 单价/元 | 小计/元 |
1 | 蒸发镀膜机 | |||||
合计 | 元(税率为%) | |||||
报价单位名称(盖章): | ||||||
法人或授权人签字:联系方式(手机): |
1、本项目最高限价万元。该报价为含税报价(请详细标明增值税税率)。
2、报价表中要求供应商盖单位公章,如不是法人签字请同时附法人签字盖章的委托授权书。
3、报价单应为含税报价、包装物、到西安购买方指定地点运费的报价。
4、本次询价只允许有一个方案,一个报价,多方案、多报价的将不被接受。
5、总价包括验收合格交付使用之前及技术和售后服务等所有费用。
6、在满足我方提出的所有技术、商务条款的供应商的报价中,不含税价格最低者中标。
五、结算及付款方式
验收合格交付使用后十五个工作日内,*方给*方开具有效增值税专用发票,90日内*方向*方支付合同总价款(银行转账或商业汇票,不低于结算总额20%)。
六、报价函构成及要求
请于2023年4月7日10点前将密封好的报价文件寄(送)至本单位,报价文件须进行密封,在密封封面上写明项目名称和报价单位名称。以快递形式邮寄的报价文件须同时在快递单封面标明项目名称。未按要求密封、未按时寄(送)或缺少以下任何一项内容的报价文件,视为无效报价文件,由此引起的后果由投标人自负。
报价文件组成:
1、报价单(含报价明细表,供货周期及付款方式等内容,如不单独说明,默认为供应商响应询价函提出的所有要求);
2、委托授权书;
3、事业单位法人证书或加载统一社会信用代码的营业执照(未办理“多证合一”的投标人提供营业执照、组织机构代码证、税务登记证)复印件等证件加盖公章;
4、提供应具备的资质能力证明材料;提供类似业绩证明材料(以对应合同及结算发票等资料复印件为准)。
七、联系方式
联系人: 刘心可
联系电话:029-* 邮寄地址: (略) 锦业二路89号
监督电话:029-* 邮编:*
中国石油集团工 (略)
**日
中国石油集团工 (略)
CNPCTubular Goods Research Institute
蒸发镀膜机
采购项目询价公告
本单位拟采购以下物资,欢迎具有相应资质能力的供应商积极参与,现将有关采购信息说明如下:
所需物资要求
技术指标要求:
1.蒸发镀膜室:镀膜室净尺寸:≥L500mm×W500mm×H650mm;SUS304不锈钢制作,方箱式,配有前、后门,前门水平滑开式,材质为锻铝,便于手套箱内操作;后门为侧开门,便于设备清理维护;特点:镀膜室配置独立机架,可在脱离手套箱条件下单独调试、使用,且可与现有手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接,对接方便、密封可靠,门框尺寸≥W560×H698;
2.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统,“两低一高”数显复合真空计;分子泵:抽速≥1300L/S,机械泵:抽速≥12L/S,
3.真空指标:极限真空:优于5.0×10-5Pa;(设备和手套箱分体,设备空载抽真空24小时)抽速:暴露大气后,抽真空至8.0×10-4Pa,用时≤40min;手套箱内开仓后,抽真空至8.0×10-4Pa,用时≤20min;设备升压率≤0.8Pa/h;
4.基片台:抽屉式结构,不小于210×210mm;配有气动基片台挡板;基片台电机驱动,旋转速度0~20转/分钟可调;蒸发源到样品垂直蒸发距离70mm可调;需根据用户要求定制掩膜板1套;
5.基片台水冷:水冷温度:10~35℃(循环水温度)。
6.蒸镀范围≥200×200mm内膜厚不均匀性≤5%;
7.金属蒸发源:水冷铜电极4组;
金属蒸发电源:逆变式蒸发电源,功率3kW,2台。1台电源切换2组蒸发源分时蒸镀。
有机蒸发源:2组,石英坩埚容量10cc,有效容量为6cc;倾斜指向基片台,保证镀膜均匀性及有机蒸发材料使用效率;
有机蒸发源适用温度:室温~600±1℃(真空状态);
有机蒸发电源:2套,采用每源独立PID智能温控+热电偶+加热电源闭环控温;
8.配6组气动挡板及源间防污隔板。
9.膜厚控制系统:膜厚监控仪1台,探头2支;可切换控制金属蒸发源速率,在线测量镀膜过程中膜厚变化,根据实时膜厚和镀膜速率自动调整蒸发源电源功率,保证镀膜过程接近匀速稳定;
①高亮度,彩色 LCD显示器 – 可显示英文或中文;
②标准 RS-232;
③ "快速设置”菜单,6个与功能关联的按钮,和灵便的参数设定旋钮使得参数设置和操作更简单
④Windows? 程序,可开发, 测试,和下载工艺过程,也可将仪器数据记录至您的PC 上,用于工艺分析与质量控制;
⑤ 当淀积速率很低时,在 4每秒四次采样的分辨率可达到± 0 .012 Hz,在 0至50oC温度范围内的频率稳定性可达到±2 ppm,保证精确的工艺过程控制,
⑥ 贮存容量可高至 100个工艺过程,1,000 个膜层,50个膜系
⑦ 可用单探头监测源材料,也可用多探头分布监测,可切换控制其中1组蒸发源的速率;
⑧膜厚和速率分辨率:±0.015? 速率显示:0.01?/秒。
10.控制方式:PLC+触摸屏半自动控制。
11.报警及保护:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。
12.冷却循环水机:功率不小于2P,制冷量不小于5.62kW,1台;
13.空气压缩机:排气量≥90L/min,储气罐容积≥38L(0.038m3),噪音:≤68dB,1台。
供应商资质要求
1、具有独立法人资格,持有效营业执照或事业单位法人证书,具有独立签订合同的权利和良好履行合同的能力。
2、财务要求:供应商须提供2021或2022年度经会计师事务所或审计机构审计的财务报告(须有注册 (略) 盖章,包括资产负债表、损益表、现金流量表),财务须状况良好,无资不抵债情况,具有有效履行合同资产能力。其他组织如事业单位、分支机构、 (略) (**日以后成立)等响应人若不能提供本单位的财务审计报告,须提供盖公章的2022年度财务报表或近三月开具的银行资信证明等有效证明文件。
3、近3年具有同类产品的销售业绩至少一项,证明材料包括合同及对应结算发票。
验收要求
1、供货周期:合同签订之日起180日内。
2、验收标准:满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。
3、质量标准:满足本文件一、所需物资要求中的技术指标要求。
4、质保期:交货验收合格之日起12个月。
四、报价要求(请按以下格式进行报价)
表1报价明细表
序号 | 物资名称 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 单价/元 | 小计/元 |
1 | 蒸发镀膜机 | |||||
合计 | 元(税率为%) | |||||
报价单位名称(盖章): | ||||||
法人或授权人签字:联系方式(手机): |
1、本项目最高限价万元。该报价为含税报价(请详细标明增值税税率)。
2、报价表中要求供应商盖单位公章,如不是法人签字请同时附法人签字盖章的委托授权书。
3、报价单应为含税报价、包装物、到西安购买方指定地点运费的报价。
4、本次询价只允许有一个方案,一个报价,多方案、多报价的将不被接受。
5、总价包括验收合格交付使用之前及技术和售后服务等所有费用。
6、在满足我方提出的所有技术、商务条款的供应商的报价中,不含税价格最低者中标。
五、结算及付款方式
验收合格交付使用后十五个工作日内,*方给*方开具有效增值税专用发票,90日内*方向*方支付合同总价款(银行转账或商业汇票,不低于结算总额20%)。
六、报价函构成及要求
请于2023年4月7日10点前将密封好的报价文件寄(送)至本单位,报价文件须进行密封,在密封封面上写明项目名称和报价单位名称。以快递形式邮寄的报价文件须同时在快递单封面标明项目名称。未按要求密封、未按时寄(送)或缺少以下任何一项内容的报价文件,视为无效报价文件,由此引起的后果由投标人自负。
报价文件组成:
1、报价单(含报价明细表,供货周期及付款方式等内容,如不单独说明,默认为供应商响应询价函提出的所有要求);
2、委托授权书;
3、事业单位法人证书或加载统一社会信用代码的营业执照(未办理“多证合一”的投标人提供营业执照、组织机构代码证、税务登记证)复印件等证件加盖公章;
4、提供应具备的资质能力证明材料;提供类似业绩证明材料(以对应合同及结算发票等资料复印件为准)。
七、联系方式
联系人: 刘心可
联系电话:029-* 邮寄地址: (略) 锦业二路89号
监督电话:029-* 邮编:*
中国石油集团工 (略)
**日
陕西
陕西
陕西
陕西
陕西
陕西
最近搜索
无
热门搜索
无