大湾区大学物质科学学院脉冲激光沉积系统真空腔体招标公告
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大湾区大学物质科学学院脉冲激光沉积系统真空腔体招标公告
| 项目名称 | 大湾区大学 (略) 脉冲激光沉积系统真空腔体的采购 | 项目编号 | GBU-XJ-23010号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ** 10:20:37 | 公告截止日期 | ** 11:00:00 |
| 采购单位 | 大湾区大学(筹) | 付款方式 | 1.*方货物验收通过后，收到正式发票后30个工作日内通过银行转账向*方支付100%合同款项； |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同生效之日起120个工作日内 | |
| 预算总价 | 未公布 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 | ||
| 收货地址 | (略) 松山湖国际创新创业社区A5栋20层 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 脉冲激光溅射镀膜机 | 2 | 台 | 无 |
| 品牌 | 安泰可 |
|---|---|
| 型号 | pld-300 |
| 技术参数及配置要求 | 真空室 全部采用SUS304不锈钢制成，尺寸大致为φ350mm。 真空室装有前后快开门，打开后可以对腔体内部进行维护，配有观察窗。观察窗配有挡板。 腔体的极限真空为5x10-5Pa。 设备泄漏率＜7*10-8pa.L/s 。 CF100激光视窗接口1套（视窗中心距离地面1350±100mm可调）。 转靶以及加热装置 激光加热器装置直径1寸，可加热到1000度，耐氧气30pa。 靶材与基片架的距离为50-100mm。 基片总挡板，气动控制，通过触摸屏操作。 转靶可承载1寸靶材4片，公转，自转，扫描，激光器可与转靶联动。 气体流量计1路（氧气100sccm），带有截止阀。 真空系统 久泰真空脂润滑分子泵，抽速：600。 机械泵抽速约：6L/S 复合真空计，测量范围大气---1x10-5Pa 高真空气动挡板阀：KF40接口 控制系统 设备采用触摸屏控制+PLC，设备的操作在触摸屏上完成。 触摸屏尺寸为10英寸，控制内容包括： 机械泵、分子泵、阀的启、停； 在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统； 基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。 蒸发源挡板的开关。 照明以及烘烤系统 设备烘烤系统采用热辐射烘烤，功率为500W，烘烤温度室温-80℃. 照明灯为碘钨灯，24V250W，上下各一个。 |
| 售后服务 | 总价包括了制造或采购、包装、税费、运输、安装、调试费用。质保期：安装调试后12个月。 |
** 10:20:37
| 项目名称 | 大湾区大学 (略) 脉冲激光沉积系统真空腔体的采购 | 项目编号 | GBU-XJ-23010号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ** 10:20:37 | 公告截止日期 | ** 11:00:00 |
| 采购单位 | 大湾区大学(筹) | 付款方式 | 1.*方货物验收通过后，收到正式发票后30个工作日内通过银行转账向*方支付100%合同款项； |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 合同生效之日起120个工作日内 | |
| 预算总价 | 未公布 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 | ||
| 收货地址 | (略) 松山湖国际创新创业社区A5栋20层 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 脉冲激光溅射镀膜机 | 2 | 台 | 无 |
| 品牌 | 安泰可 |
|---|---|
| 型号 | pld-300 |
| 技术参数及配置要求 | 真空室 全部采用SUS304不锈钢制成，尺寸大致为φ350mm。 真空室装有前后快开门，打开后可以对腔体内部进行维护，配有观察窗。观察窗配有挡板。 腔体的极限真空为5x10-5Pa。 设备泄漏率＜7*10-8pa.L/s 。 CF100激光视窗接口1套（视窗中心距离地面1350±100mm可调）。 转靶以及加热装置 激光加热器装置直径1寸，可加热到1000度，耐氧气30pa。 靶材与基片架的距离为50-100mm。 基片总挡板，气动控制，通过触摸屏操作。 转靶可承载1寸靶材4片，公转，自转，扫描，激光器可与转靶联动。 气体流量计1路（氧气100sccm），带有截止阀。 真空系统 久泰真空脂润滑分子泵，抽速：600。 机械泵抽速约：6L/S 复合真空计，测量范围大气---1x10-5Pa 高真空气动挡板阀：KF40接口 控制系统 设备采用触摸屏控制+PLC，设备的操作在触摸屏上完成。 触摸屏尺寸为10英寸，控制内容包括： 机械泵、分子泵、阀的启、停； 在缺水、过流、短路、漏电、误操作、断电等情况下的报警及保护系统； 基片台的旋转，基片的选择。基片总挡板的开关。 蒸发源挡板的开关。 照明以及烘烤系统 设备烘烤系统采用热辐射烘烤，功率为500W，烘烤温度室温-80℃. 照明灯为碘钨灯，24V250W，上下各一个。 |
| 售后服务 | 总价包括了制造或采购、包装、税费、运输、安装、调试费用。质保期：安装调试后12个月。 |
** 10:20:37
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