宜兴中车时代半导体有限公司划片机及环切机项目重新招标国际招标公告2
宜兴中车时代半导体有限公司划片机及环切机项目重新招标国际招标公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 划片机 | 7台 | 一整套全自动划片系统,机器自动从花篮取出带背面贴膜的晶圆,在预校准台上进行中心定位后送到工作台,进行划片作业,完成划片后将晶圆从工作台搬送到离心清洗台进行清洗、干燥,兼容自动照UV解胶功能,最后将晶圆放回到同一花篮 | 详见技术规格书;★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
2 | 环切机 | 2台 | 一整套全自动环切系统,机器自动从料盒取出带背面贴膜的带Taiko环晶圆,并将其送到切割台上,自动通过图像识别系统准确找到划切位置进行划切,完成划切后自动将其送到清洗工位进行清洗、干燥,再自动将其送入解UV腔体只对Taiko环进行解UV处理,Taiko环解UV完成后机器自动将Taiko环取下并放入Taiko环收集装置中,最后机器将去掉Taiko环的晶圆自动送回到同一料盒中 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 划片机 | 7台 | 一整套全自动划片系统,机器自动从花篮取出带背面贴膜的晶圆,在预校准台上进行中心定位后送到工作台,进行划片作业,完成划片后将晶圆从工作台搬送到离心清洗台进行清洗、干燥,兼容自动照UV解胶功能,最后将晶圆放回到同一花篮 | 详见技术规格书;★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
2 | 环切机 | 2台 | 一整套全自动环切系统,机器自动从料盒取出带背面贴膜的带Taiko环晶圆,并将其送到切割台上,自动通过图像识别系统准确找到划切位置进行划切,完成划切后自动将其送到清洗工位进行清洗、干燥,再自动将其送入解UV腔体只对Taiko环进行解UV处理,Taiko环解UV完成后机器自动将Taiko环取下并放入Taiko环收集装置中,最后机器将去掉Taiko环的晶圆自动送回到同一料盒中 |
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