一、项目信息

采购人：甬江实验室

项目名称：甬江实验室采购晶圆键合工艺相关设备项目

拟采购的货物或服务的说明：全自动晶圆键合机、低温等离子体活化设备 、键合清洗设备、双面对准光刻机、晶圆键合机、临时键合机、热滑移解键合机各1套。

拟采购的货物或服务的预算金额：人民币9800万元

采用单一来源采购方式的原因及说明：甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台因研究发展需要，需采购晶圆键合工艺相关设备7套，包括全自动晶圆键合机、低温等离子体活化设备 、键合清洗设备、双面对准光刻机、晶圆键合机、临时键合机、热滑移解键合机各1套。

本采购项目设备主要用于存储器堆叠、MEMS制造、3D互联，TSV工艺和晶圆级先进封装工艺。 (略) 的晶圆键合设备技术成熟、质量稳定，性能可靠。而且仅EVG有整套的先进手动键合解决方案，仅EVG晶圆键合机可兼容双腔设计，仅EVG键合清洗设备可配备红外键合检测模块及键合力计算模块，满足用户科研要求。北京 (略) 是EVG针对本项目在中国境内的销售代理。故申请以单一来源采购方式进行采购，供应商：北京 (略) 。

二、拟定供应商信息

名称：北京 (略)

地址： (略) 朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室

三、公示期限

2023年10月07日至2023年10月12日

四、其他补充事宜：

1.本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

2.无。

五、联系方式

1.采购人

名 称：甬江实验室

联 系 人：孙老师

联系地址： (略) 镇海区慈海南路1792号

联系电话：0574-*　

2.采购代理机构

名 称：宁波 (略)

联 系 人：陈冲

联系地址： (略) 鄞州区天童南路666号中基大厦19楼

联系电话：0574-*

电子邮箱：*@*q.com

六、附件

专业人员论证意见（格式见附件）

http://**？categoryCode=ZcyAnnouncement&parentId=*&articleId=6Sc5JnRLVUjPlFqQ+22AbQ==&utm=luban.luban-PC-36449.972-pc-websitegroup-zhejiang-mainSearchPage-front.1.6b92f02064c911ee*d8c16e0812

一、项目信息

采购人：甬江实验室

项目名称：甬江实验室采购晶圆键合工艺相关设备项目

拟采购的货物或服务的说明：全自动晶圆键合机、低温等离子体活化设备 、键合清洗设备、双面对准光刻机、晶圆键合机、临时键合机、热滑移解键合机各1套。

拟采购的货物或服务的预算金额：人民币9800万元

采用单一来源采购方式的原因及说明：甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台因研究发展需要，需采购晶圆键合工艺相关设备7套，包括全自动晶圆键合机、低温等离子体活化设备 、键合清洗设备、双面对准光刻机、晶圆键合机、临时键合机、热滑移解键合机各1套。

本采购项目设备主要用于存储器堆叠、MEMS制造、3D互联，TSV工艺和晶圆级先进封装工艺。 (略) 的晶圆键合设备技术成熟、质量稳定，性能可靠。而且仅EVG有整套的先进手动键合解决方案，仅EVG晶圆键合机可兼容双腔设计，仅EVG键合清洗设备可配备红外键合检测模块及键合力计算模块，满足用户科研要求。北京 (略) 是EVG针对本项目在中国境内的销售代理。故申请以单一来源采购方式进行采购，供应商：北京 (略) 。

二、拟定供应商信息

名称：北京 (略)

地址： (略) 朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室

三、公示期限

2023年10月07日至2023年10月12日

四、其他补充事宜：

1.本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

2.无。

五、联系方式

1.采购人

名 称：甬江实验室

联 系 人：孙老师

联系地址： (略) 镇海区慈海南路1792号

联系电话：0574-*　

2.采购代理机构

名 称：宁波 (略)

联 系 人：陈冲

联系地址： (略) 鄞州区天童南路666号中基大厦19楼

联系电话：0574-*

电子邮箱：*@*q.com

六、附件

专业人员论证意见（格式见附件）

http://**？categoryCode=ZcyAnnouncement&parentId=*&articleId=6Sc5JnRLVUjPlFqQ+22AbQ==&utm=luban.luban-PC-36449.972-pc-websitegroup-zhejiang-mainSearchPage-front.1.6b92f02064c911ee*d8c16e0812