各供应商：

东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价采购方式进行东华大学小型台式无掩膜光刻机项目采购。

一、项目内容：

1.项目名称:小型台式无掩膜光刻机

2.品牌：TUOTUO

3.型号：PL-3D litho S

4.项目数量: 1 （台）

5.项目总预算: 470,000.00元(报价超预算,报价单算无效报价单)

二、项目总体要求：

1、项目总体技术要求

1.1光刻精度：

至少支持三个光刻镜头：光刻镜头1：精度≤10 μm， DOF≥ 600 μm；光刻镜头2： 精度≤5 μm ，DOF≥ 125 μm；光刻镜头3：精度≤2 μm， DOF≥18 μm；

1.2曝光波长：385 nm；

1.3光刻速度：

a) 光刻镜头1：≥950 mm2/min；

b) 光刻镜头2：≥230 mm2/min；

c) 光刻镜头3：≥25 mm2/min；

1.4主动对焦功能；

1.5最大胶厚：≥350 μm；

1.6显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性；

1.7样品厚度：≥10 mm；

1.8样品尺寸：≥100 mm * 100 mm；

1.9设备软件：支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示；

1.10画图软件：支持阵列画图、套刻画图；

2、交货安装地点：

安装至松江校区复合材料协同创新大楼4楼B409-B411室客户指定地点（东华大学校园内）

3、交货期

合同签订生效后50天

4、设备安装调试及验收

设备到货后，由供应商到现场对设备进行开箱、清点并安装调试。

5、售后服务

设备质保期从设备验收合格后采购人签字认可之日起计算，质保期为1年，报价方详细阐述售后服务。

6.付款方式：

合同签订后，预付50%货款，货到验收合格后凭全额发票付清尾款。

三、报价文件截止时间：

2023年10月28日（星期六）上午7：00，为最终报价截止时间，报价文件需加盖单位公章并密封，密封处加盖单位公章并注意项目名称，未按时送达视为自动放弃。

四、送达或邮寄地址：

(略) 松江区人民北路2999号行政楼123房间

徐忠文收 *，

只收顺丰快递。(请勿以闪送、同城急送等的方式交付文件，快递外包装上请标注报价项目名称)

五、本次采购的相关要求：

受邀服务商在报价文件中需提供相关资格证明材料和无不良信用记录的相关证明（相应网页截图）。

相关资格证明材料指：营业执照、组织机构代码证、税务登记证（三证合一的服务商仅需提供“企业法人营业执照副本”）复印件、法人代表授权委托书复印件、被授权人身份证复印件、以及具有与本项目相适应的经营范围。

不良信用记录指：服务商在“信用中国”网站（http://**.cn）被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（http://**.cn）被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。

以上资料均需加盖公章，提供不全者将可能导致其报价被否决。

如对本项目内容有任何问题，可咨询：

材料科 (略)

孙老师，电话：*

本次报价商务联系人：徐忠文 电话：021-*

2023年10月24日

各供应商：

东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价采购方式进行东华大学小型台式无掩膜光刻机项目采购。

一、项目内容：

1.项目名称:小型台式无掩膜光刻机

2.品牌：TUOTUO

3.型号：PL-3D litho S

4.项目数量: 1 （台）

5.项目总预算: 470,000.00元(报价超预算,报价单算无效报价单)

二、项目总体要求：

1、项目总体技术要求

1.1光刻精度：

至少支持三个光刻镜头：光刻镜头1：精度≤10 μm， DOF≥ 600 μm；光刻镜头2： 精度≤5 μm ，DOF≥ 125 μm；光刻镜头3：精度≤2 μm， DOF≥18 μm；

1.2曝光波长：385 nm；

1.3光刻速度：

a) 光刻镜头1：≥950 mm2/min；

b) 光刻镜头2：≥230 mm2/min；

c) 光刻镜头3：≥25 mm2/min；

1.4主动对焦功能；

1.5最大胶厚：≥350 μm；

1.6显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性；

1.7样品厚度：≥10 mm；

1.8样品尺寸：≥100 mm * 100 mm；

1.9设备软件：支持阵列光刻、尺寸测量、进度显示；

1.10画图软件：支持阵列画图、套刻画图；

2、交货安装地点：

安装至松江校区复合材料协同创新大楼4楼B409-B411室客户指定地点（东华大学校园内）

3、交货期

合同签订生效后50天

4、设备安装调试及验收

设备到货后，由供应商到现场对设备进行开箱、清点并安装调试。

5、售后服务

设备质保期从设备验收合格后采购人签字认可之日起计算，质保期为1年，报价方详细阐述售后服务。

6.付款方式：

合同签订后，预付50%货款，货到验收合格后凭全额发票付清尾款。

三、报价文件截止时间：

2023年10月28日（星期六）上午7：00，为最终报价截止时间，报价文件需加盖单位公章并密封，密封处加盖单位公章并注意项目名称，未按时送达视为自动放弃。

四、送达或邮寄地址：

(略) 松江区人民北路2999号行政楼123房间

徐忠文收 *，

只收顺丰快递。(请勿以闪送、同城急送等的方式交付文件，快递外包装上请标注报价项目名称)

五、本次采购的相关要求：

受邀服务商在报价文件中需提供相关资格证明材料和无不良信用记录的相关证明（相应网页截图）。

相关资格证明材料指：营业执照、组织机构代码证、税务登记证（三证合一的服务商仅需提供“企业法人营业执照副本”）复印件、法人代表授权委托书复印件、被授权人身份证复印件、以及具有与本项目相适应的经营范围。

不良信用记录指：服务商在“信用中国”网站（http://**.cn）被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（http://**.cn）被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。

以上资料均需加盖公章，提供不全者将可能导致其报价被否决。

如对本项目内容有任何问题，可咨询：

材料科 (略)

孙老师，电话：*

本次报价商务联系人：徐忠文 电话：021-*

2023年10月24日