椭圆偏振光谱仪系统项目采购意向公开

为充 (略) 场资源潜力、广泛征求供应商意见建议，确保采购需求论证充分、采购活动竞争充分、采购结果公平公正，根据军队采购工作有关规定，现就我部椭圆偏振光谱仪系统项目采购意向进行公开发布，欢迎广大供应商来电来函或来人了解项目情况、提出宝贵建议，我们将及时向您反馈意见采纳情况。

一、采购单位

驻 北京 市 丰台 区某单位

二、采购需求概况

椭圆偏振光谱仪系统1套。

三、概算金额

约 140万元

四、初步技术参数

（一）功能用途

具有对单层膜、多层膜等材料具有光学性能的分析能力，测量膜厚范围可从单原子层至微米量级，可用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数，满足平台不同材料膜厚及光学参数的测试。

系统应满足可外部施加光、电、磁、热等信号，含定量纳米力学测试模式、电化学原子力显微镜模块、扫描热显微镜模块，可实现装备防护材料力学性能测试、失效特征表征和失效机理分析。

（二）主要指标

1.光谱范围覆盖190– 2100nm，包括紫外-可见探测系统、近红外探测系统。

2.测量范围：Psi= 0°–90°，Delta=0°–360°，无死区。

3.Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi = 45°; Delta = 0°），满足：

Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)。

4.测量重复性（80-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4？，折射率n（633nm）≤0.0003。

5.测量时间：全光谱不超过1分钟。

6.自动样品台：X范围不小于200 mm ；Y范围不小于200 mm。

7.入射角可调、消色差微光斑、微细光斑、自动变角等功能，以及电脑及配套软件。

8.三维轮廓分析功能、

9.单轴/双轴各项异性建模分析。

五、预计交付时间与地点

预计交付时间： 2024 年 10 月。

预计交付地点： (略) 丰台区杜 (略) 。

六、拟设定的供应商资格条件

（一）一般条件

1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件；

2.不在军队采购违规供应商“黑名单”内；

3.成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业；

4.非联合体形式参加投标（报价）。

七、联系方式、联系人与意见反馈截止时间

联系方式：010-*（固话）/*（手机）

联 系 人：石老师

截止时间：2023年11月15日

八、特殊说明

1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，具体采购项目情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。

九、监督热线电话

对采购意向公开过程中，供应商认为采购单位无故拒绝沟通、不听取合理建议，以及存在其他不当行为的，可向本单位采购管理部门反映。

监督热线：010-*

2023年 10 月 23日

椭圆偏振光谱仪系统项目采购意向公开

为充 (略) 场资源潜力、广泛征求供应商意见建议，确保采购需求论证充分、采购活动竞争充分、采购结果公平公正，根据军队采购工作有关规定，现就我部椭圆偏振光谱仪系统项目采购意向进行公开发布，欢迎广大供应商来电来函或来人了解项目情况、提出宝贵建议，我们将及时向您反馈意见采纳情况。

一、采购单位

驻 北京 市 丰台 区某单位

二、采购需求概况

椭圆偏振光谱仪系统1套。

三、概算金额

约 140万元

四、初步技术参数

（一）功能用途

具有对单层膜、多层膜等材料具有光学性能的分析能力，测量膜厚范围可从单原子层至微米量级，可用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数，满足平台不同材料膜厚及光学参数的测试。

系统应满足可外部施加光、电、磁、热等信号，含定量纳米力学测试模式、电化学原子力显微镜模块、扫描热显微镜模块，可实现装备防护材料力学性能测试、失效特征表征和失效机理分析。

（二）主要指标

1.光谱范围覆盖190– 2100nm，包括紫外-可见探测系统、近红外探测系统。

2.测量范围：Psi= 0°–90°，Delta=0°–360°，无死区。

3.Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi = 45°; Delta = 0°），满足：

Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)。

4.测量重复性（80-100nm SiO2/Si样品，30次测量标准偏差1δ）：厚度d≤±0.4？，折射率n（633nm）≤0.0003。

5.测量时间：全光谱不超过1分钟。

6.自动样品台：X范围不小于200 mm ；Y范围不小于200 mm。

7.入射角可调、消色差微光斑、微细光斑、自动变角等功能，以及电脑及配套软件。

8.三维轮廓分析功能、

9.单轴/双轴各项异性建模分析。

五、预计交付时间与地点

预计交付时间： 2024 年 10 月。

预计交付地点： (略) 丰台区杜 (略) 。

六、拟设定的供应商资格条件

（一）一般条件

1.符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条资格条件；

2.不在军队采购违规供应商“黑名单”内；

3.成立时间不少于3年，且为非外资独资或外资控股企业；

4.非联合体形式参加投标（报价）。

七、联系方式、联系人与意见反馈截止时间

联系方式：010-*（固话）/*（手机）

联 系 人：石老师

截止时间：2023年11月15日

八、特殊说明

1.本次公开的采购意向仅作为供应商了解初步采购安排的参考，具体采购项目情况以最终发布的采购公告和采购文件为准；

2.供应商可以通过采购平台反馈参与意向和意见建议。

九、监督热线电话

对采购意向公开过程中，供应商认为采购单位无故拒绝沟通、不听取合理建议，以及存在其他不当行为的，可向本单位采购管理部门反映。

监督热线：010-*

2023年 10 月 23日