详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) - 国际招标公告

(略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-11-24在
中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1 招标条件
项目概况:上海交通大学采购1套感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)，该设备通过
感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介
质薄膜（例如氧化硅SiO2 氮化硅SiNx 氮氧硅SiOxNy等）。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备

2 招标内容
招标项目编号:0773-2341SHHW0110
招标项目名称:上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):

3 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-
2） 投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权
书（见格式 IV-9-4）
2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件
3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电
产品交易平台，网址为：http://**）上完成有效注册
4）不接受联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4 招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-11-24
招标文件领购结束时间:2023-12-01
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
招标文件售价: 500/ 80
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) 1套 2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成 无焊缝 低漏率。侧壁带加热功能。 2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆 向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片 不同尺寸样片之间的切换 无需反应腔室的开腔破真空。其余详见 第八章 货物需求一览表及技术规格
预算金额：人民币335.00万元。 最高
限价：人民币335.00万元。 交货期
：签订合同后11个月内 交付地点：上
海交通大学用户指定地点
其他说明:（1）投标人报名时须先登录 上海交通大学数字化采购平台
（http://**） 供应商注册进行网上注册并实名认证。（2）注册转账之后
，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称 项目编号 项目名称，邮件附件包含：网上转账
凭证。发送至zjzb2022 126.com。

5 投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-12-15 09:30
投标文件送达地点: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
开标地点: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室

6 投标人在投标前应在必联网（http://**）或机电产品招标投标电子交易平台（
http://**）或中国国际招标网（http://**）完成
注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。

7 联系方式
招标人:上海交通大学
地址: (略) 闵行区东川路800号
联系人:招采办经办人：章老师 技术联系人：张老师
联系方式:86-21-* 86-21-*
招标代理机构: (略)
地址: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
联系人:宋晓飞 张莹莹
联系方式:86-21-* 108

8 汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海斜桥支行
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海黄浦支行
账号(人民币):*10790
账号(美元):*10790
其他:户名： (略) 上海分公司

9 其他补充说明
其他补充说明:校内编号：招设2023A00204



招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）


招标人或其招标代理机构： （盖章）
详情见附件
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上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) - 国际招标公告

(略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-11-24在
中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1 招标条件
项目概况:上海交通大学采购1套感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)，该设备通过
感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介
质薄膜（例如氧化硅SiO2 氮化硅SiNx 氮氧硅SiOxNy等）。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备

2 招标内容
招标项目编号:0773-2341SHHW0110
招标项目名称:上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):

3 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-
2） 投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权
书（见格式 IV-9-4）
2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件
3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电
产品交易平台，网址为：http://**）上完成有效注册
4）不接受联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4 招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2023-11-24
招标文件领购结束时间:2023-12-01
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
招标文件售价: 500/ 80
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) 1套 2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成 无焊缝 低漏率。侧壁带加热功能。 2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆 向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片 不同尺寸样片之间的切换 无需反应腔室的开腔破真空。其余详见 第八章 货物需求一览表及技术规格
预算金额：人民币335.00万元。 最高
限价：人民币335.00万元。 交货期
：签订合同后11个月内 交付地点：上
海交通大学用户指定地点
其他说明:（1）投标人报名时须先登录 上海交通大学数字化采购平台
（http://**） 供应商注册进行网上注册并实名认证。（2）注册转账之后
，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称 项目编号 项目名称，邮件附件包含：网上转账
凭证。发送至zjzb2022 126.com。

5 投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-12-15 09:30
投标文件送达地点: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
开标地点: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室

6 投标人在投标前应在必联网（http://**）或机电产品招标投标电子交易平台（
http://**）或中国国际招标网（http://**）完成
注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。

7 联系方式
招标人:上海交通大学
地址: (略) 闵行区东川路800号
联系人:招采办经办人：章老师 技术联系人：张老师
联系方式:86-21-* 86-21-*
招标代理机构: (略)
地址: (略) 四平路200号盛泰国际大厦606室
联系人:宋晓飞 张莹莹
联系方式:86-21-* 108

8 汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海斜桥支行
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海黄浦支行
账号(人民币):*10790
账号(美元):*10790
其他:户名： (略) 上海分公司

9 其他补充说明
其他补充说明:校内编号：招设2023A00204



招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）： （签名）


招标人或其招标代理机构： （盖章）
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