无掩模光刻机招标公告

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无掩模光刻机招标公告



项目名称无掩模光刻机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-01-19 15:01:14公告截止日期2024-01-26 17:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求成交后3个工作日内
预算总价￥ 400,000.00
收货地址浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件



采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
无掩模光刻机1台光电设备

品牌Microlight3D
型号SP-UV.Standard
预算单价￥ 400,000.00
技术参数及配置要求曝光波长：385nm
准直波长：590nm
包含2个物镜(2.5X/10X)，配备磁性“快速释放”系统；
2.5X镜头：写入区域4.2mm×4.2mm FOV；线宽6μm;
10X镜头：写入区域1.06mm×0.59mm FOV；线宽1.5μm;
最大曝光区域70 mm×70 mm；
写入速度77 mm2/min；
拼接精度2μm；
套刻精度2μm；
线宽低至1.5μm（10X物镜）；
手动旋转台角度范围360° ，精度0.1°；
兼容SU-8、AZ系列、i线、g线、h线和宽带光刻胶等；
最大可兼容4 inch基底。
售后服务电话支持:7x24小时;服务时限:报修后8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-01-19 15:01:14






项目名称无掩模光刻机项目编号XF-WSBX-*
公告开始日期2024-01-19 15:01:14公告截止日期2024-01-26 17:00:00
采购单位浙江大学付款方式货到付款，*方在到货验收后15日内向*方一次性支付本项目的总额
联系人成交后在我参与的项目中查看联系电话成交后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求成交后3个工作日内
预算总价￥ 400,000.00
收货地址浙江大学紫金港校区开物苑1号楼D02
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件



采购清单1
采购商品采购数量计量单位所属分类
无掩模光刻机1台光电设备

品牌Microlight3D
型号SP-UV.Standard
预算单价￥ 400,000.00
技术参数及配置要求曝光波长：385nm
准直波长：590nm
包含2个物镜(2.5X/10X)，配备磁性“快速释放”系统；
2.5X镜头：写入区域4.2mm×4.2mm FOV；线宽6μm;
10X镜头：写入区域1.06mm×0.59mm FOV；线宽1.5μm;
最大曝光区域70 mm×70 mm；
写入速度77 mm2/min；
拼接精度2μm；
套刻精度2μm；
线宽低至1.5μm（10X物镜）；
手动旋转台角度范围360° ，精度0.1°；
兼容SU-8、AZ系列、i线、g线、h线和宽带光刻胶等；
最大可兼容4 inch基底。
售后服务电话支持:7x24小时;服务时限:报修后8小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

浙江大学

2024-01-19 15:01:14




    
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