根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学等离子体增强化学气相沉积系统进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：山东大学等离子体增强化学气相沉积系统

项目编号：SDJXHD*-Z197

项目联系方式：

项目联系人：田老师

项目联系电话：0531-*

采购单位联系方式：

采购单位：山东大学

采购单位地址： (略) 山大南路27号

采购单位联系方式：鲁老师 0531-*

一、采购项目内容

拟购买的等离子体增强化学气相沉积系统适用于在低温下在晶圆上沉积钝化层同时实现无损伤的沉积。该设备能够制备高致密度的保护膜作为半导体器件表面保护层，可实现对功率芯片与外界环境的隔绝，包含氧气、水蒸气等，是实现高可靠性功率芯片的重要因素，是衔接芯片制备和下游封装的关键环节。

经用户调研， (略) 的设备能够在200℃以下沉积SiO2薄膜，同时通过沉积阶段引入H2和沉积后H2等离子体处理，分别能够提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸气在SiO2表面的吸附，对降低漏电流、提高击穿电压具有显著作用，实现107V·cm-1的耐压指标，调研的其他企业都难以实现上述指标。另一方面，拟购设备具有独特的托盘温控设计，为了实现较低温度下托盘的温度均一性，用热空气代替传统的电阻丝加热方式，避免温度过冲的风险，以实现高指标大面积介质层薄膜的沉积。SPTS Technology Ltd.公司在国内的指定合作供应商为苏美达 (略) 。因此采用单一来源方式采购。

拟定唯一供应商名称：苏美达 (略)

二、开标时间：2024年02月02日 14:30

三、其它补充事宜

获取采购文件：登录山东大学采购网（http://**）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。

投标流程：

本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见山东大学采购网（www.cgw.http://**）--资料下载--山东大学电子投标指南文件。

发布公告媒介：本次采购公告在中国政府采购网和山东大学采购网上发布。

公告时间：自本公告发布之日起五个工作日。

四、预算金额：

预算金额：990.* 万元（人民币）

　　根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学等离子体增强化学气相沉积系统进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：山东大学等离子体增强化学气相沉积系统

项目编号：SDJXHD*-Z197

项目联系方式：

项目联系人：田老师

项目联系电话：0531-*

采购单位联系方式：

采购单位：山东大学

采购单位地址： (略) 山大南路27号

采购单位联系方式：鲁老师 0531-*

一、采购项目内容

拟购买的等离子体增强化学气相沉积系统适用于在低温下在晶圆上沉积钝化层同时实现无损伤的沉积。该设备能够制备高致密度的保护膜作为半导体器件表面保护层，可实现对功率芯片与外界环境的隔绝，包含氧气、水蒸气等，是实现高可靠性功率芯片的重要因素，是衔接芯片制备和下游封装的关键环节。

经用户调研， (略) 的设备能够在200℃以下沉积SiO2薄膜，同时通过沉积阶段引入H2和沉积后H2等离子体处理，分别能够提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸气在SiO2表面的吸附，对降低漏电流、提高击穿电压具有显著作用，实现107V·cm-1的耐压指标，调研的其他企业都难以实现上述指标。另一方面，拟购设备具有独特的托盘温控设计，为了实现较低温度下托盘的温度均一性，用热空气代替传统的电阻丝加热方式，避免温度过冲的风险，以实现高指标大面积介质层薄膜的沉积。SPTS Technology Ltd.公司在国内的指定合作供应商为苏美达 (略) 。因此采用单一来源方式采购。

拟定唯一供应商名称：苏美达 (略)

二、开标时间：2024年02月02日 14:30

三、其它补充事宜

获取采购文件：登录山东大学采购网（http://**）进行供应商注册，注册完成我中心审核通过后，再次登录系统在线提交获取采购文件申请，审核成功后自助下载采购文件。

投标流程：

本项目采用电子招投标方式采购。投标供应商必须按相关程序办理数字证书和安装投标文件工具后方可上传递交投标响应文件。详细操作说明见山东大学采购网（www.cgw.http://**）--资料下载--山东大学电子投标指南文件。

发布公告媒介：本次采购公告在中国政府采购网和山东大学采购网上发布。

公告时间：自本公告发布之日起五个工作日。

四、预算金额：

预算金额：990.* 万元（人民币）