磁控溅射系统招标公告
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磁控溅射系统招标公告
| 项目名称 | 磁控溅射系统 | 项目编号 | JLU-KC* |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2024-04-11 14:24:38 | 公示截止日期 | 2024-04-16 15:00:00 |
| 采购单位 | 吉林大学 | 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 国内合同签订后90个工作日内 |
| 预算 | ￥ 950,000 | ||
| 发票要求 | 增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 须上传生产厂家盖章的针对本项目的授权书和售后服务承诺书。 (必选) 区域代理授权书 (必选) | ||
| 收货地址 | 吉林大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射系统 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | 苏州方昇 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | * | ||
| 技术参数 | 1、样品台 1.1、样品架夹具可以固定 1 个 3 英寸或更大尺寸有效蒸镀面积的基片托。 1.2、基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度 0-30 转/分可调； 1.3、样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； 1.4、基片盘下方挡板采用磁流体密封，可在真空状态下打开关闭，用作预溅射或遮挡靶表面氧化层或杂质用。 1.5、基片架带升降功能,升降通过电机带动滚珠丝杆实现,焊接波纹管密封,升降行程≥50mm。 2、溅射靶 2.1、共 4 组共焦靶，靶尺寸：2 英寸；靶材厚度 3-5mm，靶的正上方装有防污板； 2.2、溅射靶采用水冷,以防止溅射过程中温度过高导致磁铁消磁； 2.3、溅射靶安装在真空腔体底部，共焦于基片盘，对基片盘共焦溅射； 2.4、溅射靶的溅射角度可调，10-30 度； 2.5、溅射均匀性：优于±5%； 2.6、溅射电源：DC 电源 2 台，500W；AC 电源 2 台，600W。 3、气路控制系统 3.1、三路进气，一路氩气，二路氮气，三路备用，前端带有截止阀，辅助控制； 3.2、采用Aera 质量流量控制器控制气体流量，量程 0-100SCCM，氮气标定； 3.3、主抽气管道上带有节流挡板，配合插板阀辅助调节溅射压力。 4、蒸发腔体 4.1、腔体采用 SUS304 不锈钢制作，其内部尺寸约为450×450×530mm； 4.2、腔体漏率：整体漏率优于 5×10-10Pa.m3/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa。 5、蒸镀真空系统 5.1、极限真空优于： 4×10-5pa； 5.2、主泵抽速不低于 730L/S，采用分子泵； 5.3、前级泵抽速不低于 30 m3/h； 5.4、气动高真空插板阀，通径大于等于 150mm； 5.5、带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作； 5.6、腔体充氮气，从常压抽至 5×10-4pa 的时间要求不超过 15 分钟。 6、蒸镀软件控制系统 6.1、主体采用工控机,相关阀门软件控制,减小误操作的可能性； 6.2、电器控制面板与腔体,真空系统等集成在一个型材框架内,易于维护； 6.3、分子泵电源含有过流,过压,过热等报警保护。 7.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。 | ||
| 售后服务 | (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。 2 、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。 3 、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。; | ||
吉林大学
2024-04-11 14:24:38
| 项目名称 | 磁控溅射系统 | 项目编号 | JLU-KC* |
|---|---|---|---|
| 公示开始日期 | 2024-04-11 14:24:38 | 公示截止日期 | 2024-04-16 15:00:00 |
| 采购单位 | 吉林大学 | 付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 国内合同签订后90个工作日内 |
| 预算 | ￥ 950,000 | ||
| 发票要求 | 增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 须上传生产厂家盖章的针对本项目的授权书和售后服务承诺书。 (必选) 区域代理授权书 (必选) | ||
| 收货地址 | 吉林大学 | ||
| 采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 磁控溅射系统 | 1 | 台 | 电子工业生产设备 |
| 品牌 | 苏州方昇 | ||
|---|---|---|---|
| 规格型号 | * | ||
| 技术参数 | 1、样品台 1.1、样品架夹具可以固定 1 个 3 英寸或更大尺寸有效蒸镀面积的基片托。 1.2、基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度 0-30 转/分可调； 1.3、样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性； 1.4、基片盘下方挡板采用磁流体密封，可在真空状态下打开关闭，用作预溅射或遮挡靶表面氧化层或杂质用。 1.5、基片架带升降功能,升降通过电机带动滚珠丝杆实现,焊接波纹管密封,升降行程≥50mm。 2、溅射靶 2.1、共 4 组共焦靶，靶尺寸：2 英寸；靶材厚度 3-5mm，靶的正上方装有防污板； 2.2、溅射靶采用水冷,以防止溅射过程中温度过高导致磁铁消磁； 2.3、溅射靶安装在真空腔体底部，共焦于基片盘，对基片盘共焦溅射； 2.4、溅射靶的溅射角度可调，10-30 度； 2.5、溅射均匀性：优于±5%； 2.6、溅射电源：DC 电源 2 台，500W；AC 电源 2 台，600W。 3、气路控制系统 3.1、三路进气，一路氩气，二路氮气，三路备用，前端带有截止阀，辅助控制； 3.2、采用Aera 质量流量控制器控制气体流量，量程 0-100SCCM，氮气标定； 3.3、主抽气管道上带有节流挡板，配合插板阀辅助调节溅射压力。 4、蒸发腔体 4.1、腔体采用 SUS304 不锈钢制作，其内部尺寸约为450×450×530mm； 4.2、腔体漏率：整体漏率优于 5×10-10Pa.m3/S，保压 12 小时，压强小于 10Pa。 5、蒸镀真空系统 5.1、极限真空优于： 4×10-5pa； 5.2、主泵抽速不低于 730L/S，采用分子泵； 5.3、前级泵抽速不低于 30 m3/h； 5.4、气动高真空插板阀，通径大于等于 150mm； 5.5、带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作； 5.6、腔体充氮气，从常压抽至 5×10-4pa 的时间要求不超过 15 分钟。 6、蒸镀软件控制系统 6.1、主体采用工控机,相关阀门软件控制,减小误操作的可能性； 6.2、电器控制面板与腔体,真空系统等集成在一个型材框架内,易于维护； 6.3、分子泵电源含有过流,过压,过热等报警保护。 7.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。 | ||
| 售后服务 | (略) 点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。 2 、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。 3 、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。; | ||
吉林大学
2024-04-11 14:24:38
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