采购项目名称：紫外光刻机
采购单位： (略) 清华大学刘卿楼
付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%
签约时间要求：成交后10个工作日内
交货时间要求：签订合同后120个工作日内
交货地址： (略) 清华大学刘卿楼
技术参数及配置要求：1.曝光样品尺寸：4英寸，单面对准； 2.曝光光强：≥30mW/cm2； 3. 分辨率：1μm（胶厚1μm的胶）； 4. 对准精度：正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸：5寸； 6.掩模样片整体运动范围：X:6mm；Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程：X:±5mm；Y:±5mm；θ:±5度 8.照明均匀性：≥97%（Ф100mm范围） 9. 样品厚度：0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制)； 10. 曝光波长：365nm（UV LED光源） 11. 曝光方式：接触式曝光，定时（计时方式0.1s—3000.0s） 配套系统和设备： 1.主机（机架、光学平台） 光学平台： 台面材料：不锈钢，抛光处理； 台面平面度：0.05~0.1mm/m2； 台面粗糙度：0.8~1.6μm； 调平方式：机械进行调平； 平台配套脚轮； 2.光源 光源类型：UV LED； 中心波长：365±5nm； 强度：≥30mW/cm2； 光照均匀性：≥97%； 能量稳定性：≥98%； 光强均匀性：<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄） 主轴：X轴、Y轴、Z轴、θ轴 镜头：X轴、Y轴、Z轴 驱动手柄：Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器） 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头：放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源） 6.真空系统(真空吸盘：对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵） 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。
质保期：12个月
供应商报名地址：点击进入

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付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%
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技术参数及配置要求：1.曝光样品尺寸：4英寸，单面对准； 2.曝光光强：≥30mW/cm2； 3. 分辨率：1μm（胶厚1μm的胶）； 4. 对准精度：正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸：5寸； 6.掩模样片整体运动范围：X:6mm；Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程：X:±5mm；Y:±5mm；θ:±5度 8.照明均匀性：≥97%（Ф100mm范围） 9. 样品厚度：0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制)； 10. 曝光波长：365nm（UV LED光源） 11. 曝光方式：接触式曝光，定时（计时方式0.1s—3000.0s） 配套系统和设备： 1.主机（机架、光学平台） 光学平台： 台面材料：不锈钢，抛光处理； 台面平面度：0.05~0.1mm/m2； 台面粗糙度：0.8~1.6μm； 调平方式：机械进行调平； 平台配套脚轮； 2.光源 光源类型：UV LED； 中心波长：365±5nm； 强度：≥30mW/cm2； 光照均匀性：≥97%； 能量稳定性：≥98%； 光强均匀性：<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄） 主轴：X轴、Y轴、Z轴、θ轴 镜头：X轴、Y轴、Z轴 驱动手柄：Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器） 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头：放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源） 6.真空系统(真空吸盘：对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵） 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。
质保期：12个月
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