紫外光刻机清采比选号采购公告
紫外光刻机清采比选号采购公告
采购项目名称:紫外光刻机
采购单位: (略) 清华大学刘卿楼
付款方式:合同签订后50%,验收合格后50%
签约时间要求:成交后10个工作日内
交货时间要求:签订合同后120个工作日内
交货地址: (略) 清华大学刘卿楼
技术参数及配置要求:1.曝光样品尺寸:4英寸,单面对准; 2.曝光光强:≥30mW/cm2; 3. 分辨率:1μm(胶厚1μm的胶); 4. 对准精度:正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸:5寸; 6.掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;Y:±5mm;θ:±5度 8.照明均匀性:≥97%(Ф100mm范围) 9. 样品厚度:0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制); 10. 曝光波长:365nm(UV LED光源) 11. 曝光方式:接触式曝光,定时(计时方式0.1s—3000.0s) 配套系统和设备: 1.主机(机架、光学平台) 光学平台: 台面材料:不锈钢,抛光处理; 台面平面度:0.05~0.1mm/m2; 台面粗糙度:0.8~1.6μm; 调平方式:机械进行调平; 平台配套脚轮; 2.光源 光源类型:UV LED; 中心波长:365±5nm; 强度:≥30mW/cm2; 光照均匀性:≥97%; 能量稳定性:≥98%; 光强均匀性:<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄) 主轴:X轴、Y轴、Z轴、θ轴 镜头:X轴、Y轴、Z轴 驱动手柄:Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器) 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头:放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源) 6.真空系统(真空吸盘:对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵) 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。
质保期:12个月
供应商报名地址:点击进入
采购项目名称:紫外光刻机
采购单位: (略) 清华大学刘卿楼
付款方式:合同签订后50%,验收合格后50%
签约时间要求:成交后10个工作日内
交货时间要求:签订合同后120个工作日内
交货地址: (略) 清华大学刘卿楼
技术参数及配置要求:1.曝光样品尺寸:4英寸,单面对准; 2.曝光光强:≥30mW/cm2; 3. 分辨率:1μm(胶厚1μm的胶); 4. 对准精度:正面对准精度可以达到±2μm 5. 掩模尺寸:5寸; 6.掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm 7.掩模相对于样片运动行程:X:±5mm;Y:±5mm;θ:±5度 8.照明均匀性:≥97%(Ф100mm范围) 9. 样品厚度:0.3mm-1.5mm(其他尺寸可定制); 10. 曝光波长:365nm(UV LED光源) 11. 曝光方式:接触式曝光,定时(计时方式0.1s—3000.0s) 配套系统和设备: 1.主机(机架、光学平台) 光学平台: 台面材料:不锈钢,抛光处理; 台面平面度:0.05~0.1mm/m2; 台面粗糙度:0.8~1.6μm; 调平方式:机械进行调平; 平台配套脚轮; 2.光源 光源类型:UV LED; 中心波长:365±5nm; 强度:≥30mW/cm2; 光照均匀性:≥97%; 能量稳定性:≥98%; 光强均匀性:<3% 3.驱动装置(主轴、镜头、驱动手柄) 主轴:X轴、Y轴、Z轴、θ轴 镜头:X轴、Y轴、Z轴 驱动手柄:Z轴控制 4.控制系统(PLC控制器、数字量模块、工控机、显示器) 5.视觉系统(COMS网口相机、工业镜头:放大倍率4倍、分辨率3.7微米、黄色点光源) 6.真空系统(真空吸盘:对应样品尺寸、Mask固定板、数字式真空表、配干式真空泵) 7.设备安装及人员培训 8.至少一年质保期。
质保期:12个月
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