项目名：碳化硅PECVD工艺设备研发项 (略) 国产真空泵 爱德华真空泵
编号：Z*
日期：2024-05-29
采购单位： (略) 第二研究所

（碳化硅PECVD工艺设备研发项目）的中标结果公告

一、项目概况

（1）项目名称： 碳化硅PECVD工艺设备研发项目

二、评标结果

（1）名称： (略) 北京 (略) 思翠科技（上海）有限公司

（2）中标内容： (略) 国产真空泵 爱德华真空泵

（3）中标价格： *.00 *.00 *.00 元

三、其他

（1）本公告的发布日期：2024年05月29日

项目名：碳化硅PECVD工艺设备研发项 (略) 国产真空泵 爱德华真空泵
编号：Z*
日期：2024-05-29
采购单位： (略) 第二研究所

（碳化硅PECVD工艺设备研发项目）的中标结果公告

一、项目概况

（1）项目名称： 碳化硅PECVD工艺设备研发项目

二、评标结果

（1）名称： (略) 北京 (略) 思翠科技（上海）有限公司

（2）中标内容： (略) 国产真空泵 爱德华真空泵

（3）中标价格： *.00 *.00 *.00 元

三、其他

（1）本公告的发布日期：2024年05月29日