超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

招标公告

日 期：2024年 5 月 15 日

招标编号：0722-244FE0029CDF

项目名称：超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

中国 (略) 受重 (略) 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 5 月 15 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式。

1. 招标条件

1.1 项目概况：超高分辨冷场发射扫描电子显微镜1台，全新。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1交货地点：重 (略)

2.2用途说明：在晶圆制造过程中，需要对特定测试结构做定点横截面分析。考虑机械研磨可能引入的沾污，需要具有纳米级精度的裂片机械，来保证对亚微米级测试结构的直接裂解。裂片系统通过两步过程：刻痕和断裂，来制备纳米级高质量截面：

首先在样品目标的边缘位置以高精度刻划出划痕；然后以这个边缘划痕为中心引导机械进行冲击，使得裂纹从划痕位置沿晶体的正交向量裂开并精准的通过裂解位置标记点, 从而完成晶片的完整裂解。

工艺研发，生产中，需要通过机械裂解的形式，快速，精确的制备纳米级定点SEM截面样品，裂解精度达到0.1um；高精度裂解单样品制备时间不超过15分钟。。

2.3 交货时间：合同生效后240天。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3 投标人或投标货物的制造商须具备向10家以上中国大*12英寸集成电路制造企业提供SEM设备，且在先进制程节点供货和安装调试不低于10台实绩；（需提供业绩合同复印件或验收证明复印件或制造商出具的所投标产品的客户销售清单并加盖制造商公章作为证明材料）。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4. 招标文件的获取：

4.1 招标文件领购开始时间：2024年 5 月 15 日

4.2 招标文件领购结束时间：2024年 5 月 22 日

4.3 是否在线售卖标书:否

4.4 获取招标文件方式:现场领购

4.5 招标文件领购地点： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

4.6 招标文件售价：500人民币/套

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2024年 6 月 5 日14:00 分,投标文件递交时间：2024年 6 月 5 日13:30分－2024年 6 月 5 日14:00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) 高新区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

5.3 开标地点： (略) 高新区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

6. 发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》（http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》上公布。

7. 联系方式

招标人：重 (略)

地址： (略) 高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

联系人：付渝兵

电话：023-*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静、王佳博、曾千洪

电话：023-*、*

传真：023-*

电子邮箱：*@*q.com

8. 其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*

超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

招标公告

日 期：2024年 5 月 15 日

招标编号：0722-244FE0029CDF

项目名称：超高分辨冷场发射扫描电子显微镜

中国 (略) 受重 (略) 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 5 月 15 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式。

1. 招标条件

1.1 项目概况：超高分辨冷场发射扫描电子显微镜1台，全新。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1交货地点：重 (略)

2.2用途说明：在晶圆制造过程中，需要对特定测试结构做定点横截面分析。考虑机械研磨可能引入的沾污，需要具有纳米级精度的裂片机械，来保证对亚微米级测试结构的直接裂解。裂片系统通过两步过程：刻痕和断裂，来制备纳米级高质量截面：

首先在样品目标的边缘位置以高精度刻划出划痕；然后以这个边缘划痕为中心引导机械进行冲击，使得裂纹从划痕位置沿晶体的正交向量裂开并精准的通过裂解位置标记点, 从而完成晶片的完整裂解。

工艺研发，生产中，需要通过机械裂解的形式，快速，精确的制备纳米级定点SEM截面样品，裂解精度达到0.1um；高精度裂解单样品制备时间不超过15分钟。。

2.3 交货时间：合同生效后240天。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3 投标人或投标货物的制造商须具备向10家以上中国大*12英寸集成电路制造企业提供SEM设备，且在先进制程节点供货和安装调试不低于10台实绩；（需提供业绩合同复印件或验收证明复印件或制造商出具的所投标产品的客户销售清单并加盖制造商公章作为证明材料）。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4. 招标文件的获取：

4.1 招标文件领购开始时间：2024年 5 月 15 日

4.2 招标文件领购结束时间：2024年 5 月 22 日

4.3 是否在线售卖标书:否

4.4 获取招标文件方式:现场领购

4.5 招标文件领购地点： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

4.6 招标文件售价：500人民币/套

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2024年 6 月 5 日14:00 分,投标文件递交时间：2024年 6 月 5 日13:30分－2024年 6 月 5 日14:00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) 高新区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

5.3 开标地点： (略) 高新区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

6. 发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》（http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》上公布。

7. 联系方式

招标人：重 (略)

地址： (略) 高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153

联系人：付渝兵

电话：023-*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) 江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静、王佳博、曾千洪

电话：023-*、*

传真：023-*

电子邮箱：*@*q.com

8. 其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*