1. 招标条件

本招标项目深紫外光刻机的招标人为 (略) 西安飞行自动控制研究所，招标项目资金来自国拨资金。该项目已具备招标条件，现进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：TC*M4

2.2 项目名称：深紫外光刻机

2.3 数量：1台

2.4 技术规格：

（1）主要用途：深紫外光刻机主要用于光子芯片制造，通过投影成像方式，把掩膜板上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有光刻胶层的硅片表面，是集成光子芯片大规模、低成本制造的主要手段。利用光子集成芯片代替传统光纤分立器件可实现小体积、低成本、高可靠、可大规模批量生产光子芯片光纤陀螺，保证光纤陀螺寿命周期内性能稳定和使用可靠。

（2）批复指标：工作方式：SCANNER；分辨率≤0.22 ?m；套刻精度≤45 nm（FIA）；晶圆尺寸：8"兼容6"。

2.5 交货地点：用户现场指定地点。

2.6 交货期：合同签订生效后6个月内。

3. 投标人资格要求

3.1 本次招标要求投标人在中华人民共和国境内注册，具备有效的营业执照或事业单位法人证书，并具有与本招标项目相应的供货能力。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参与同一标段标或者未划分标段的同一招标项目投标。

3.2 本次招标 不接受 （接受或不接受）联合体投标。

3.3 具有ISO9001质量管理体系认证证书。

3.4 投标人提供2022年度经会计事务所或审计机构审计的财务报表（至少包括审计报告、资产负债表、现金流量表、利润表）；若投标人为依法允许经营的事业单位，可提供内部财务状况表。

3.5 投标人投标的同品牌同型号或同品牌同精度设备（曝光波长相同）2021年1月1日至今国内的销售量≥1台。

3.6 在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或 (略) 的查询结果）和信誉承诺书。

3.7 最高投标限价：人民币*。

4. 招标文件的获取

4.1 招标文件购买时间：2024年6月14日09:00至2024年6月21日17:00

4.2 招标文件购买地址： (略) （http://**）

4.3 招标文件价格：1000 元，售后不退（未领购招标文件不得参加投标）

5. 投标文件的递交

5.1 投标文件递交截止时间：2024年7月5日上午09:00

5.2 投标文件递交地点（线下）：西安广成大酒店会议室

投标文件递交地点（线上）： (略) 电子招投标专区

5.3 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件， (略) 将予以拒收。

特别说明：除递交纸质投标文件外，本项目必须同时使用 (略) 进行全流程电子招投标，招标文件购买、线上投标、开标、评标以及公示等工作均同时在 (略) 电子招投标专区进行。请投标人及时在 (略) 购买CA数字认证证书，否则无法进行线上投标。具体请参看 (略) 电子招投标专区发布的相关指南，有关事项请与 (略) 招投标专区客服联系（400 890 0880）。

6. 开标时间及地点

6.1 开标时间：同投标文件递交截止时间

6.2 开标地点：同投标文件递交地点

7. 发布公告的媒介

本次招标公告在中国 (略) 和 (略) 同时发布。

8. 联系方式

招标人： (略) 西安飞行自动控制研究所

地址： (略) 高 (略) 129号

联系人：甘练

电话：029-*

邮箱：*@*vic.com

招标代理机构： (略)

地址： (略) (略) 南路62号中关村资本大厦

联系人：王欢、靳林瑞

电话：010-*、010-*

邮箱：*@*ttp://**

注：在 (略) 下单购买招标文件时，支付方式请选择电汇，电汇成功后请将汇款截图上传到订单中，审核通过后可自行下载招标文件。电汇账户如下：

户名： (略)

账号：*2296

开户银行：中国工商银行北京海淀支行营业部

备注：请在电汇时备注TC开头的招标编号

1. 招标条件

本招标项目深紫外光刻机的招标人为 (略) 西安飞行自动控制研究所，招标项目资金来自国拨资金。该项目已具备招标条件，现进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：TC*M4

2.2 项目名称：深紫外光刻机

2.3 数量：1台

2.4 技术规格：

（1）主要用途：深紫外光刻机主要用于光子芯片制造，通过投影成像方式，把掩膜板上图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有光刻胶层的硅片表面，是集成光子芯片大规模、低成本制造的主要手段。利用光子集成芯片代替传统光纤分立器件可实现小体积、低成本、高可靠、可大规模批量生产光子芯片光纤陀螺，保证光纤陀螺寿命周期内性能稳定和使用可靠。

（2）批复指标：工作方式：SCANNER；分辨率≤0.22 ?m；套刻精度≤45 nm（FIA）；晶圆尺寸：8"兼容6"。

2.5 交货地点：用户现场指定地点。

2.6 交货期：合同签订生效后6个月内。

3. 投标人资格要求

3.1 本次招标要求投标人在中华人民共和国境内注册，具备有效的营业执照或事业单位法人证书，并具有与本招标项目相应的供货能力。单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参与同一标段标或者未划分标段的同一招标项目投标。

3.2 本次招标 不接受 （接受或不接受）联合体投标。

3.3 具有ISO9001质量管理体系认证证书。

3.4 投标人提供2022年度经会计事务所或审计机构审计的财务报表（至少包括审计报告、资产负债表、现金流量表、利润表）；若投标人为依法允许经营的事业单位，可提供内部财务状况表。

3.5 投标人投标的同品牌同型号或同品牌同精度设备（曝光波长相同）2021年1月1日至今国内的销售量≥1台。

3.6 在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或 (略) 的查询结果）和信誉承诺书。

3.7 最高投标限价：人民币*。

4. 招标文件的获取

4.1 招标文件购买时间：2024年6月14日09:00至2024年6月21日17:00

4.2 招标文件购买地址： (略) （http://**）

4.3 招标文件价格：1000 元，售后不退（未领购招标文件不得参加投标）

5. 投标文件的递交

5.1 投标文件递交截止时间：2024年7月5日上午09:00

5.2 投标文件递交地点（线下）：西安广成大酒店会议室

投标文件递交地点（线上）： (略) 电子招投标专区

5.3 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件， (略) 将予以拒收。

特别说明：除递交纸质投标文件外，本项目必须同时使用 (略) 进行全流程电子招投标，招标文件购买、线上投标、开标、评标以及公示等工作均同时在 (略) 电子招投标专区进行。请投标人及时在 (略) 购买CA数字认证证书，否则无法进行线上投标。具体请参看 (略) 电子招投标专区发布的相关指南，有关事项请与 (略) 招投标专区客服联系（400 890 0880）。

6. 开标时间及地点

6.1 开标时间：同投标文件递交截止时间

6.2 开标地点：同投标文件递交地点

7. 发布公告的媒介

本次招标公告在中国 (略) 和 (略) 同时发布。

8. 联系方式

招标人： (略) 西安飞行自动控制研究所

地址： (略) 高 (略) 129号

联系人：甘练

电话：029-*

邮箱：*@*vic.com

招标代理机构： (略)

地址： (略) (略) 南路62号中关村资本大厦

联系人：王欢、靳林瑞

电话：010-*、010-*

邮箱：*@*ttp://**

注：在 (略) 下单购买招标文件时，支付方式请选择电汇，电汇成功后请将汇款截图上传到订单中，审核通过后可自行下载招标文件。电汇账户如下：

户名： (略)

账号：*2296

开户银行：中国工商银行北京海淀支行营业部

备注：请在电汇时备注TC开头的招标编号