北航集成电路科学与工程学院8英寸氧化硅片采购公告
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北航集成电路科学与工程学院8英寸氧化硅片采购公告
1. （1）采购货物有关信息
设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品
设备或材料名称：8英寸氧化硅片；
项目 | 规格 | 量测方法 | |
氧化要求 | 5000A±10% | ||
氧化层形成方式 | Dry Oxidation | ||
粗糙度 | ≤0.4nm | ||
氧硅腐蚀速率 | ~30?/min | H2O：HF=100：1 | |
颗粒 | <*@*.3um | ||
倒角 | Semi标准 | ||
碳含量 | Semi标准 | ||
氧含量 | Semi标准 | ||
金属沾污 | Fe, Cr, Cu, Ni | ≤5E10 atoms/cm2 | Process Guarantee |
Al, Zn, K, Na, Ca | ≤5E10 atoms/cm2 | ||
Ti, V, Mn, Co, Mg, Pb, W | ≤1E11 atoms/cm2 | ||
材料 | Silicon Single Crystal | ||
电阻率 | 0.5-100 ohm.cm | 5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts) | |
电阻率均匀性 | ≤25% | 5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts); (max-min)/min *100% | |
晶向 | (100) | ||
晶向偏离 | 0±0.5° | ||
直径 | 200±0.2 mm | ||
定位槽notch | {110}±1.0° symmetrical as per SEMI Standard | ||
厚度 | 725±25μm | ||
总厚度变化 | ≤10μm | ||
局部平整度 | ≤2μm (20mm*20mm) | ||
弯曲度 | ≤40μm | ||
翘曲度 | ≤40μm | ||
掺杂类型 | P | ||
掺杂剂 | B | ||
正面 | Chem-Mech. Polished | ||
背封 | Chem-Mech. | ||
参数：
数量：800片
交货期：收到预付款后60日内
交货地点： (略) 海淀区北京航空航天大学
是否接受进口产品：是
（2）采购服务有关信息
服务内容/服务时间/服务地点/服务需求/备注
2、采购预算（最高限价）：32万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间：**日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：**日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
6月24日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址： (略) (略) 路37号北京航空航天大学第一馆（近新北门）
李老师收，手机号： *
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
曹老师，邮箱：kaihua.*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，*@*ttp://**或010-*（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
1. （1）采购货物有关信息
设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品
设备或材料名称：8英寸氧化硅片；
项目 | 规格 | 量测方法 | |
氧化要求 | 5000A±10% | ||
氧化层形成方式 | Dry Oxidation | ||
粗糙度 | ≤0.4nm | ||
氧硅腐蚀速率 | ~30?/min | H2O：HF=100：1 | |
颗粒 | <*@*.3um | ||
倒角 | Semi标准 | ||
碳含量 | Semi标准 | ||
氧含量 | Semi标准 | ||
金属沾污 | Fe, Cr, Cu, Ni | ≤5E10 atoms/cm2 | Process Guarantee |
Al, Zn, K, Na, Ca | ≤5E10 atoms/cm2 | ||
Ti, V, Mn, Co, Mg, Pb, W | ≤1E11 atoms/cm2 | ||
材料 | Silicon Single Crystal | ||
电阻率 | 0.5-100 ohm.cm | 5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts) | |
电阻率均匀性 | ≤25% | 5 points: center (1pt) + edge 6mm (4pts); (max-min)/min *100% | |
晶向 | (100) | ||
晶向偏离 | 0±0.5° | ||
直径 | 200±0.2 mm | ||
定位槽notch | {110}±1.0° symmetrical as per SEMI Standard | ||
厚度 | 725±25μm | ||
总厚度变化 | ≤10μm | ||
局部平整度 | ≤2μm (20mm*20mm) | ||
弯曲度 | ≤40μm | ||
翘曲度 | ≤40μm | ||
掺杂类型 | P | ||
掺杂剂 | B | ||
正面 | Chem-Mech. Polished | ||
背封 | Chem-Mech. | ||
参数：
数量：800片
交货期：收到预付款后60日内
交货地点： (略) 海淀区北京航空航天大学
是否接受进口产品：是
（2）采购服务有关信息
服务内容/服务时间/服务地点/服务需求/备注
2、采购预算（最高限价）：32万
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、法人证书扫描件、销售资质证明扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间：**日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：**日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
6月24日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址： (略) (略) 路37号北京航空航天大学第一馆（近新北门）
李老师收，手机号： *
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
曹老师，邮箱：kaihua.*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，*@*ttp://**或010-*（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
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