无机高温炉国际招标公告2/63
无机高温炉国际招标公告2/63
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 无机高温炉 | 3台 | (1)本装置主要用于G6 OLED阵列制程中,用于修复离子注入过程中损坏的晶格,通过高温制程使CVD膜层中的H原子扩散到多晶硅中形成Si-H键,达到修复缺陷的作用;改善电阻特性,提升LTPS&OLED性能; (2)基板尺寸:1500mm(宽)*1850mm(长);基板厚度:0.4mm~0.7mm; (3)系统总重量:≤141吨,本系统设计的单点支撑脚最高荷重要求≤2.8吨。 | 0730-*-63 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 无机高温炉 | 3台 | (1)本装置主要用于G6 OLED阵列制程中,用于修复离子注入过程中损坏的晶格,通过高温制程使CVD膜层中的H原子扩散到多晶硅中形成Si-H键,达到修复缺陷的作用;改善电阻特性,提升LTPS&OLED性能; (2)基板尺寸:1500mm(宽)*1850mm(长);基板厚度:0.4mm~0.7mm; (3)系统总重量:≤141吨,本系统设计的单点支撑脚最高荷重要求≤2.8吨。 | 0730-*-63 |
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