PECVD&离子注入机尾气处理装置国际招标公告2/68
PECVD&离子注入机尾气处理装置国际招标公告2/68
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | PECVD&离子注入机尾气处理装置 | CVD:6台,IMP:1台 | (1)PECVD废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域,燃烧式废气处理设备用于处理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体 (2)NF3:≥99% (3)SiH4:≥99% 。 | 0730-*-68 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | PECVD&离子注入机尾气处理装置 | CVD:6台,IMP:1台 | (1)PECVD废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域,燃烧式废气处理设备用于处理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体 (2)NF3:≥99% (3)SiH4:≥99% 。 | 0730-*-68 |
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