株洲中车时代半导体有限公司膜厚仪设备采购项目国际招标公告1
株洲中车时代半导体有限公司膜厚仪设备采购项目国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 膜厚仪设备 | 1台/套 | 用于测量晶圆上的SiO2膜、多晶硅膜、氮化硅膜、光刻胶膜、PI胶膜等 | 详见技术规格书★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 膜厚仪设备 | 1台/套 | 用于测量晶圆上的SiO2膜、多晶硅膜、氮化硅膜、光刻胶膜、PI胶膜等 | 详见技术规格书★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
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