采购项目名称：形貌测量系统
采购单位： (略) 清华大学刘卿楼
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址： (略) 清华大学刘卿楼
技术参数及配置要求：1.垂直分辨率：0.1 nm；2.测量范围：600 μm；3.最大测应力：50 mg；4.样品台范围：100mm×25mm；φ160mm；5.重现性：≤0.2nm（当台阶≤1μm）；6.X轴直线度精度：≤0.2μm/100mm；7.传感器感测方式：直动式；8.机台一体式标配花岗岩减震基座，无需额外提供防震平台；9.标准片1片，台阶高度0.403μm；10.解析软件：满足台阶和平面度，应力等检测和数据导出。
质保期：12个月
供应商报名地址：点击进入

采购项目名称：形貌测量系统
采购单位： (略) 清华大学刘卿楼
付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址： (略) 清华大学刘卿楼
技术参数及配置要求：1.垂直分辨率：0.1 nm；2.测量范围：600 μm；3.最大测应力：50 mg；4.样品台范围：100mm×25mm；φ160mm；5.重现性：≤0.2nm（当台阶≤1μm）；6.X轴直线度精度：≤0.2μm/100mm；7.传感器感测方式：直动式；8.机台一体式标配花岗岩减震基座，无需额外提供防震平台；9.标准片1片，台阶高度0.403μm；10.解析软件：满足台阶和平面度，应力等检测和数据导出。
质保期：12个月
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