华南师范大学物理学院采购热蒸发系统
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华南师范大学物理学院采购热蒸发系统
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购日期 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学物理学院采购热蒸发系统 | 标的名称：热蒸发系统 标的数量：1.00 主要功能或目标：满足升国家级物理实验教学示范中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划2. (略) 建设需求。该设备在高真空状态下由电阻丝加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。 需满足的要求：1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 2.进口分子泵(抽速不小于300 L/s)和进口涡旋干泵(抽速不小于4.1 L/s)，本底真空优于2x10-7 mbar（烘烤除气后）。 3.进口气动插板阀。 4.最大样品4英寸，加热温度500°C。 5.4组舟式蒸发源，最高加热温度：1200°C。 6.配置膜厚控制仪。 7.电脑界面操作，程序智能控制，自动参数记录。实现一人一账户的权限管理。 | 按规定落实 | *.00 | 2024年09月 |
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购日期 | 备注 |
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| 1 | 华南师范大学物理学院采购热蒸发系统 | 标的名称：热蒸发系统 标的数量：1.00 主要功能或目标：满足升国家级物理实验教学示范中心、教育部基础学科拔尖学生培养计划2. (略) 建设需求。该设备在高真空状态下由电阻丝加热坩埚中的金属，使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜，是半导体微纳加工设备之一。 需满足的要求：1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。 2.进口分子泵(抽速不小于300 L/s)和进口涡旋干泵(抽速不小于4.1 L/s)，本底真空优于2x10-7 mbar（烘烤除气后）。 3.进口气动插板阀。 4.最大样品4英寸，加热温度500°C。 5.4组舟式蒸发源，最高加热温度：1200°C。 6.配置膜厚控制仪。 7.电脑界面操作，程序智能控制，自动参数记录。实现一人一账户的权限管理。 | 按规定落实 | *.00 | 2024年09月 |
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