一、项目名称：多源热蒸发系统

二、项目编号：S*

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址： (略) (略) 50号凌云楼906室

邮编：*　　　　　　　传真：0512-*

联系人：罗老师　　　　　　电话：0512-*

电子邮箱：*@*ttp://**

技术联系人： 李老师　　　电话：*

电子邮箱：*@*ttp://**

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

多源热蒸发系统　　1套

1.腔室：真空腔体由标准的304不锈钢焊接而成，内部形状为长方体，其尺寸不小于450mm×450mm×600mm，电解抛光处理，减少内部材料放气现象。腔室为前后两开门，腔门使用氟橡胶密封，并需配有前置观察窗。腔室内装有碘钨灯照明系统，方便观察。

2.基板：可以容纳1个装载有150mm×150mm基片的基片托盘，转速0～60rpm可调、掩膜板到基片的距离小于0.1mm，基片具有加热功能，可以实现最高400℃的基片加热，靠近基片托盘附近有温度检测、基片挡板系统。

3.电源：4个蒸发源，每个蒸发源配有防护挡板，每个蒸发源配有独立的直流电源和晶振片，可实现四源共蒸，并能够同时精确读出每个材料的薄膜沉积速率。

4.膜厚仪：膜厚分辨率0.01 ?，显示误差±0.01 ?/s、单片内（150mm×150mm）对于50nm薄膜，厚度误差＜10%。

5.真空系统：分子泵流量1300 L/S；真空计测量范围为常压～1.0×10^-5Pa，机械泵抽速16 m³/h。腔体侧面装有抽气主管道，分子泵，插板阀，真空计，充气阀，角阀等真空配件，在腔体洁净，无污染的情况下，极限真空5×10^-5pa，30分钟可达到大气至5×10^-4pa。该系统可以在不停分子泵的前提下，添加、更换腔体内部材料，也可以取放基片。腔体漏率＜1×10^-10 Pa*m³/S，保压12小时，真空值＜5pa，主腔室和分子泵之间有闸板阀。

5.电控系统：真空系统单独操作且具有手动模式和PLC 自动控制半自动模式（可切换）；自动一键式蒸镀；在软件中实时显示蒸发速率、蒸镀膜厚和输出功率。

6.质保时间不少于1年。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所 (略) 场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（2分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、 (略) 点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（3分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度财务报表（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、报名：供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年9月26日12:00前将报名函（格式见附件2）发送邮件至采购人处（*@*ttp://**）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年9月30日9:00前。

2. 收件人信息：

　收件人：罗老师

　联系方式：*

　收件地址： (略) (略) 50号苏大东校区凌云楼906室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2024年9月30日8：30～9：00

2. 递交地点： (略) (略) 50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2024年9月30日9:00。

十四、磋商时间：2024年9月30日9:00。

　　磋商性公告附件.rar

一、项目名称：多源热蒸发系统

二、项目编号：S*

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址： (略) (略) 50号凌云楼906室

邮编：*　　　　　　　传真：0512-*

联系人：罗老师　　　　　　电话：0512-*

电子邮箱：*@*ttp://**

技术联系人： 李老师　　　电话：*

电子邮箱：*@*ttp://**

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

多源热蒸发系统　　1套

1.腔室：真空腔体由标准的304不锈钢焊接而成，内部形状为长方体，其尺寸不小于450mm×450mm×600mm，电解抛光处理，减少内部材料放气现象。腔室为前后两开门，腔门使用氟橡胶密封，并需配有前置观察窗。腔室内装有碘钨灯照明系统，方便观察。

2.基板：可以容纳1个装载有150mm×150mm基片的基片托盘，转速0～60rpm可调、掩膜板到基片的距离小于0.1mm，基片具有加热功能，可以实现最高400℃的基片加热，靠近基片托盘附近有温度检测、基片挡板系统。

3.电源：4个蒸发源，每个蒸发源配有防护挡板，每个蒸发源配有独立的直流电源和晶振片，可实现四源共蒸，并能够同时精确读出每个材料的薄膜沉积速率。

4.膜厚仪：膜厚分辨率0.01 ?，显示误差±0.01 ?/s、单片内（150mm×150mm）对于50nm薄膜，厚度误差＜10%。

5.真空系统：分子泵流量1300 L/S；真空计测量范围为常压～1.0×10^-5Pa，机械泵抽速16 m³/h。腔体侧面装有抽气主管道，分子泵，插板阀，真空计，充气阀，角阀等真空配件，在腔体洁净，无污染的情况下，极限真空5×10^-5pa，30分钟可达到大气至5×10^-4pa。该系统可以在不停分子泵的前提下，添加、更换腔体内部材料，也可以取放基片。腔体漏率＜1×10^-10 Pa*m³/S，保压12小时，真空值＜5pa，主腔室和分子泵之间有闸板阀。

5.电控系统：真空系统单独操作且具有手动模式和PLC 自动控制半自动模式（可切换）；自动一键式蒸镀；在软件中实时显示蒸发速率、蒸镀膜厚和输出功率。

6.质保时间不少于1年。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所 (略) 场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（2分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、 (略) 点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（3分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度财务报表（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、报名：供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2024年9月26日12:00前将报名函（格式见附件2）发送邮件至采购人处（*@*ttp://**）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2024年9月30日9:00前。

2. 收件人信息：

　收件人：罗老师

　联系方式：*

　收件地址： (略) (略) 50号苏大东校区凌云楼906室（采购与招投标管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2024年9月30日8：30～9：00

2. 递交地点： (略) (略) 50号苏州大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2024年9月30日9:00。

十四、磋商时间：2024年9月30日9:00。

　　磋商性公告附件.rar