等离子体清洗机招标公告-采招网

等离子体清洗机招标公告

招标
湖北省-武汉市
发布：2024-09-20
截止：2024-09-27

内容

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等离子体清洗机招标公告

一、项目概况

（一）项目编号：*

（二）项目名称：等离子体清洗机

（三）项目内容及需求

1、数量：1台

2、交期：90日历天

3、技术要求：

3.1.设备应用:光刻胶底膜去除、胶清洗及表面油污处理;
3.2.运行模式:采用手动上下片、自动运行程序的方式，可实现程序操作分级控制；
3.3.适用产品尺寸:电极板有效尺寸满足8英寸并向下兼容6/4/2英寸标准圆片和方片；
3.4.性能要求:八英寸品圆光刻胶刻蚀速率≥10nm/min,且片内/片间均匀性≤30%,均匀性=[(max-min)/(2*avg)*100%];
3.5.硬件要求:射频等离子体电源模式且满足稳定持续工作，电极固定方式为插拔可拆卸方式且满足水平电极板处理区≥3个、工 (略) ≥2路、腔体极限真空≤1pa;
3.6.安全防护:具备安全互锁系统、漏电保护系统、报警系统、安全危害操作标识等安全防护措施;
3.7.机台要求:设备内部部件、整体外观配件满足洁净间使用要求，设备表面无刮伤、掉粉尘，设备外观无锐角、利棱。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(http://**.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国 (略) ”（http://**.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单， (略) 上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、本次招标要求提供打样。

三、供应商资料递交截止时间和地点

（一）截止时间：2024-09-27 17:00

（二）地点： (略) 东湖技术开发区 (略) 6号

四、联系事项

采购联系人：冯莎莎电话：027-*

技术联系人：徐工电话：158-2729-6461

五、监督电话

审计监察部：027-*

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六、投诉渠道：党委办公室（新增）

举报电话：027-*（党委办公室）
举报邮箱：*@*63.com
网络举报二维码：

武汉 (略)

2024年09月20日