重庆芯联微电子有限公司化学气相沉积设备国际招标公告1
重庆芯联微电子有限公司化学气相沉积设备国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300mm非晶质碳化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
2 | 300mm高深宽比二氧化硅化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
3 | 300mm应力氮化硅化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
4 | 300mm高密度等离子体二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
5 | 300mm应力氮化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
6 | 300mm高深宽比二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
7 | 300mm等离子体加强介质二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
8 | 300mm低介电常数化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
9 | 300mm超低介电常数化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
10 | 300mm超低介电常数紫外照射设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
11 | 300mm等离子体加强介质二氧化硅化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300mm非晶质碳化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
2 | 300mm高深宽比二氧化硅化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
3 | 300mm应力氮化硅化学气相沉积设备(前道) | 1 | 详见招标文件 | |
4 | 300mm高密度等离子体二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
5 | 300mm应力氮化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
6 | 300mm高深宽比二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
7 | 300mm等离子体加强介质二氧化硅化学气相沉积设备(中道) | 1 | 详见招标文件 | |
8 | 300mm低介电常数化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
9 | 300mm超低介电常数化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
10 | 300mm超低介电常数紫外照射设备(后道) | 1 | 详见招标文件 | |
11 | 300mm等离子体加强介质二氧化硅化学气相沉积设备(后道) | 1 | 详见招标文件 |
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