一、推力测试：通过左右摇杆将测试头移动至所测试产品后上方，按测试后，Z 轴自动向下移动，当测试针头
触至测试基板表面后，Z 向触发信号启动，停止下降，Z 轴向上升至设定的剪切高度后停止。Y 轴按软件设定
参数移动，当移动完成设定距离参数后，设备停止运动，软件将测试过程中的受力过程以曲线方式显示，同
时将过程中峰值力值进行数据分析后显示并保存。
二、拉力测试：通过左右摇杆将拉力测试头 移动至测试物体按测试后，Z 轴自动向上移动，当移动完成设
定距离参数后，设备停止运动，软件将测试过程中的受力分布以曲线方式显示，同时将过程中峰值力值进行
数据分析后显示并保存。

三、测试量程（见附件）

1、X 工作台： 有效行程 100mm；分辩率≤0.125um；
2、Y 工作台： 有效行程 100mm；分辩率≤0.125um；
3、Z 工作台： 有效行程 80mm；分辩率≤0.125um；
4、Y 轴最大力：200KG；
5、Z 轴最大力:20KG；
6、XY 轴最高速度:6mm/秒；
7、Z 轴最高速度:8mm/秒；
8、X,Y 轴重复性：±2um；
9、剪切高度设置精度：1um；
10、显微镜放大倍数：0.67-4.5X；
11、平台夹具：平台可共用各种夹具，夹具可 360 度旋转；
12、 (略) ，采用进口传动部件，确保机台高速、长久稳定运行；
13、双摇杆控制机器四向运动，操作简单快捷；
14、机器自带电脑，windows11 操作系统，中英文软件界面，三级操作权限，各级操作权限可自由设
定,软件操作简单，显示屏可一次显示多组测试数据及力值分布曲线；测试数据实时保存与导出功能，

一、推力测试：通过左右摇杆将测试头移动至所测试产品后上方，按测试后，Z 轴自动向下移动，当测试针头
触至测试基板表面后，Z 向触发信号启动，停止下降，Z 轴向上升至设定的剪切高度后停止。Y 轴按软件设定
参数移动，当移动完成设定距离参数后，设备停止运动，软件将测试过程中的受力过程以曲线方式显示，同
时将过程中峰值力值进行数据分析后显示并保存。
二、拉力测试：通过左右摇杆将拉力测试头 移动至测试物体按测试后，Z 轴自动向上移动，当移动完成设
定距离参数后，设备停止运动，软件将测试过程中的受力分布以曲线方式显示，同时将过程中峰值力值进行
数据分析后显示并保存。

三、测试量程（见附件）

1、X 工作台： 有效行程 100mm；分辩率≤0.125um；
2、Y 工作台： 有效行程 100mm；分辩率≤0.125um；
3、Z 工作台： 有效行程 80mm；分辩率≤0.125um；
4、Y 轴最大力：200KG；
5、Z 轴最大力:20KG；
6、XY 轴最高速度:6mm/秒；
7、Z 轴最高速度:8mm/秒；
8、X,Y 轴重复性：±2um；
9、剪切高度设置精度：1um；
10、显微镜放大倍数：0.67-4.5X；
11、平台夹具：平台可共用各种夹具，夹具可 360 度旋转；
12、 (略) ，采用进口传动部件，确保机台高速、长久稳定运行；
13、双摇杆控制机器四向运动，操作简单快捷；
14、机器自带电脑，windows11 操作系统，中英文软件界面，三级操作权限，各级操作权限可自由设
定,软件操作简单，显示屏可一次显示多组测试数据及力值分布曲线；测试数据实时保存与导出功能，