是否接受进口

拒绝进口

品牌

三和联、科民、航天鑫凯

型号

SHL 100-RIE、JXKM RIE100、Plab-150A

技术规格及参数

1、刻蚀样片大小：四英寸片，兼容两英寸片以及碎片；
2、工艺腔：铝材一体成型；
3、工艺进气方式：工艺腔顶部进气；
4、机台抽气方式：腔室测下方抽气；
5、工艺射频电源： 300W，13.56MHZ，自动匹配；
6、真空系统：采用分子泵组；
7、工艺压力范围：0~1Torr；
8、气路系统： (略) 工艺气体、一路N2吹扫气体，一路CDA；
9、工艺气体：O2、Ar、CF4、CHF3、SF 6，流量范围0~300sccm，使用数字通讯金属密封MFC控制气体流量；
10、基片散热：带有水冷系统，控温范围5℃~室温，控温精度±0.5℃；
11、控制系统：基于C语言，自主研发，全自动控制流程，带有recipe菜单，日志与数据记录，异常 (略) 理，登录权限管理，带有用户等级管理；自动运行与工程维护界面模块；实时显示机台状态；日志管理功能，工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录，生成Log文件；动作互锁功能；工艺菜单编辑功能；机 (略) 理功能；单次刻蚀，支持多步刻蚀。
12、人机交互界面：15英寸触摸屏，位于机台操作面正上方，水平放置；
13、刻蚀材料：二维材料、四族材料（Si、SiO2、石英、SiNx、SiC）以及有机材料（PR、PMMA、PDMS）；
14、所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

12个月

售后要求

保修期自货物验收合格之日起计算，应在保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。如货物出现损坏和故障，应在接到通知后48小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。

是否接受进口

拒绝进口

品牌

三和联、科民、航天鑫凯

型号

SHL 100-RIE、JXKM RIE100、Plab-150A

技术规格及参数

1、刻蚀样片大小：四英寸片，兼容两英寸片以及碎片；
2、工艺腔：铝材一体成型；
3、工艺进气方式：工艺腔顶部进气；
4、机台抽气方式：腔室测下方抽气；
5、工艺射频电源： 300W，13.56MHZ，自动匹配；
6、真空系统：采用分子泵组；
7、工艺压力范围：0~1Torr；
8、气路系统： (略) 工艺气体、一路N2吹扫气体，一路CDA；
9、工艺气体：O2、Ar、CF4、CHF3、SF 6，流量范围0~300sccm，使用数字通讯金属密封MFC控制气体流量；
10、基片散热：带有水冷系统，控温范围5℃~室温，控温精度±0.5℃；
11、控制系统：基于C语言，自主研发，全自动控制流程，带有recipe菜单，日志与数据记录，异常 (略) 理，登录权限管理，带有用户等级管理；自动运行与工程维护界面模块；实时显示机台状态；日志管理功能，工艺过程参数记录、机台事件记录以及机台警报与异常记录，生成Log文件；动作互锁功能；工艺菜单编辑功能；机 (略) 理功能；单次刻蚀，支持多步刻蚀。
12、人机交互界面：15英寸触摸屏，位于机台操作面正上方，水平放置；
13、刻蚀材料：二维材料、四族材料（Si、SiO2、石英、SiNx、SiC）以及有机材料（PR、PMMA、PDMS）；
14、所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

12个月

售后要求

保修期自货物验收合格之日起计算，应在保修期内为货物及其随机配件提供免费维护和修理。如货物出现损坏和故障，应在接到通知后48小时内赶到现场免费予以维修或调换并无条件免费提供所需的零部件。