包号

名称

货物

名称

规格

型号

功能及技术要求

计量

单位

数量

交货时间

交货地点

1

电子束焊机维修保养项目

电子束焊机维修保养

#-15B

维修技术要求

（1）更换真空计（21L# TTR91RN,DN16KF、# PTR90， DN25KF），要求原厂全新产品并电气连接良好稳固，可实时准确反应出系统真空度数值；

（2）A轴动力线缆及码盘线缆接头维修,要求各线缆接头焊接稳固、不存在虚接及连电现象，信号输出稳定，焊接工艺规整，可有效控制工作台运转;

（3）真空室门系统调试，解决关门不灵，要求半年内真空室门可顺畅关闭，不存在卡顿及无法闭合情况；

（4）一台SV200、一台SV200A、两台WAU501进行真空系统大保养（拆解、更换磨损及老化部件以及泵油），要求有效解决真空泵漏油问题，且要求更换所有部件均为全新原装正品维修包，按装稳固、工艺规整；

（5）（运动机构（X轴、Y轴、Z轴）清理保养+润滑，要求清理保养后解决X轴动密封环节漏油问题并运动机构组件安装稳固可靠。

保养技术要求

（1）电子枪内部清理保养：清理阴极、阳极、偏压杯、气阻、更换陶瓷珠；清理阳流检测系统、更换陶瓷绝缘件，更换高压绝缘油，检测合轴、聚焦、偏转线圈的状态做到更换配件均为正品原装组件且电子枪正常运转及真空度达到工作要求，稳定可靠；

（2）清洗保养V6阀及导向块、更换所有密封圈，要求清洗V6阀及导向块做到目测看不到任何杂质及污染物，更换所有密封圈均为正品原厂密封套件，按装稳固、工艺规整；

（3）清理光学观察系统，更换棱镜、透镜，更换所有密封环,要求原厂维修包并安装稳固牢靠；

（4）清理各分支 (略) 及传感器，要求不能损伤各分支 (略) 并清 (略) 内壁无附着物，传感器灵敏有效；

（5）电子枪功能控制板除尘、高压电源控制柜除尘、风扇更换，要求电子枪功能控制板、高压电源控制柜内无浮尘及异物并进行运行测试，要求电子枪功能控制板、高压电源控制柜控制状态良好，更换风扇为全新原厂风扇，安装稳固、工艺规整。

台

1

合同签订后2个月内

(略)

备注

1.投标人须对所投包内所有产品和数量进行投标报价，否则视为无效投标。

2.其他要求：报价应包含为完成本项目所必须的一切费用。

包号

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货物

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规格

型号

功能及技术要求

计量

单位

数量

交货时间

交货地点

1

电子束焊机维修保养项目

电子束焊机维修保养

#-15B

维修技术要求

（1）更换真空计（21L# TTR91RN,DN16KF、# PTR90， DN25KF），要求原厂全新产品并电气连接良好稳固，可实时准确反应出系统真空度数值；

（2）A轴动力线缆及码盘线缆接头维修,要求各线缆接头焊接稳固、不存在虚接及连电现象，信号输出稳定，焊接工艺规整，可有效控制工作台运转;

（3）真空室门系统调试，解决关门不灵，要求半年内真空室门可顺畅关闭，不存在卡顿及无法闭合情况；

（4）一台SV200、一台SV200A、两台WAU501进行真空系统大保养（拆解、更换磨损及老化部件以及泵油），要求有效解决真空泵漏油问题，且要求更换所有部件均为全新原装正品维修包，按装稳固、工艺规整；

（5）（运动机构（X轴、Y轴、Z轴）清理保养+润滑，要求清理保养后解决X轴动密封环节漏油问题并运动机构组件安装稳固可靠。

保养技术要求

（1）电子枪内部清理保养：清理阴极、阳极、偏压杯、气阻、更换陶瓷珠；清理阳流检测系统、更换陶瓷绝缘件，更换高压绝缘油，检测合轴、聚焦、偏转线圈的状态做到更换配件均为正品原装组件且电子枪正常运转及真空度达到工作要求，稳定可靠；

（2）清洗保养V6阀及导向块、更换所有密封圈，要求清洗V6阀及导向块做到目测看不到任何杂质及污染物，更换所有密封圈均为正品原厂密封套件，按装稳固、工艺规整；

（3）清理光学观察系统，更换棱镜、透镜，更换所有密封环,要求原厂维修包并安装稳固牢靠；

（4）清理各分支 (略) 及传感器，要求不能损伤各分支 (略) 并清 (略) 内壁无附着物，传感器灵敏有效；

（5）电子枪功能控制板除尘、高压电源控制柜除尘、风扇更换，要求电子枪功能控制板、高压电源控制柜内无浮尘及异物并进行运行测试，要求电子枪功能控制板、高压电源控制柜控制状态良好，更换风扇为全新原厂风扇，安装稳固、工艺规整。

台

1

合同签订后2个月内

(略)

备注

1.投标人须对所投包内所有产品和数量进行投标报价，否则视为无效投标。

2.其他要求：报价应包含为完成本项目所必须的一切费用。