项目名称：ICP刻蚀机（重新招标）

招标编号：0730-(略)GZ0011/01

中航技 (略) 受中国 (略) （招标人）的委托，就ICP刻蚀机（重新招标）（项目名称）进行国际公开招标。现邀请合格投标人对下列项目投标：

一、项目概况：

货物名称：ICP刻蚀机；

数 量：1台；

资金来源：国拨资金+自筹资金；

资金落实情况：已落实；

实施地点：采购人指定项目地址；

简要技术要求：

第八章 货物需求一览表及技术规格 二、工艺技术指标要求：

*1.等离子源功率≥1400W；

*2.刻蚀速率：0.01μm～2μm/min；

*3.刻蚀均匀性：片内≤3%；

*4.深宽比：＞5:1；

*5.氧化硅选择比：＞10:1；

*6.刻蚀材料：硅；

*7.支持的晶圆尺寸：6英寸；

*8.刻蚀均匀性：片间、批间≤3%；

*9.配 (略) ，该平台支持扩展至少三个工艺腔体；

*10.配置静电吸盘；

二、投标人资格要求：

（1）在中华人民共和国境内注册具有独立法人资格的投标人，需提供有效的企业法人营业执照副本或事业单位法人证书的复印件，所提供资质文 (略) 于有效期内；境外投标人应提供在境外当地有效的注册登记证明材料；

（2）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书，授权书接受以下两种形式之一：

①制造商原厂授权；

②制 (略) 或者一级代理商对投标人进行授权（须提供制造 (略) 或者一级代理商关系的证明文件）；

（3）投标人提供售后服务承诺书；

（4）本项目不接受联合体投标；

（5）未领购招标文件不可以参加投标。

三、招标文件的领取：

（1）招标文件领取时间：2024年11月20日09时00分到2024年11月26日17时00分；

（2）招标文件领取方法：凡有意参加本项目者,请登录 (略) （http://**）完成注册（无需办理付费会员），然后选择相应的项目缴费购买即可。

提示：①免费注册流程：访问“ (略) ”（http://**）点击上方【注册】-【境内投标人注册】-录入投标人信息并提交审核（已注册过的投标人直接进入“报名流程”）；

②报名流程：访问“ (略) ”（http://**）点击上方【登录】-【我要报名】-【输入项目编号】-【报名】-填写报名信息；

③标书费缴纳流程：在投标人主界面点击【项目管理】-【我参与的项目】-【标书费】-【购物车勾选缴纳标书费】-【提交订单】-完成支付。

注意：我公司将为购买招标文件的投标人开具电子发票，并推送至投标人下单时预留的电子邮箱，请务必确保邮箱地址正确。注册、报名及缴费问题可联系咨询电话：4006-722-788， (略) 站操作指引：“ (略) ”首页【帮助中心】-【下载专栏】。

（3）招标文件价格：RMB1000/USD160。

四、投标文件的递交及开标时间地点：

（1）投标文件递交截止时间：2024年12月10日10时00分（北京时间）；

（2）投标文件递交地址：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼开标厅；

（3）投标文件递交方式：邮寄或现场递交（备注：若采用邮寄方式递交的，因邮寄过程导致的投标问题由投标人自己承担）；

（4）开标地点：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼开标厅。

五、发布公告的媒介

（1）中国 (略) （http://**）；

（2）中国 (略) （http://**）。

六、联系方式：

招标人：中国 (略)

地址： (略) (略) 白金大道3388号

联系人：赵女士（联系时间范围：工作日9:00-17:00）

电子邮箱：*@*ttp://**

邮编：(略)

联系电话：0851-(略)、(略)

招标代理机构：中航技 (略) （中航技 (略) 贵州分公司）

地址：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼

联系人：项目二部（段云鹏）

电子邮箱：*@*q.com

邮编：(略)

联系电话：0851-(略)（报名咨询）、(略)（业务）

项目名称：ICP刻蚀机（重新招标）

招标编号：0730-(略)GZ0011/01

中航技 (略) 受中国 (略) （招标人）的委托，就ICP刻蚀机（重新招标）（项目名称）进行国际公开招标。现邀请合格投标人对下列项目投标：

一、项目概况：

货物名称：ICP刻蚀机；

数 量：1台；

资金来源：国拨资金+自筹资金；

资金落实情况：已落实；

实施地点：采购人指定项目地址；

简要技术要求：

第八章 货物需求一览表及技术规格 二、工艺技术指标要求：

*1.等离子源功率≥1400W；

*2.刻蚀速率：0.01μm～2μm/min；

*3.刻蚀均匀性：片内≤3%；

*4.深宽比：＞5:1；

*5.氧化硅选择比：＞10:1；

*6.刻蚀材料：硅；

*7.支持的晶圆尺寸：6英寸；

*8.刻蚀均匀性：片间、批间≤3%；

*9.配 (略) ，该平台支持扩展至少三个工艺腔体；

*10.配置静电吸盘；

二、投标人资格要求：

（1）在中华人民共和国境内注册具有独立法人资格的投标人，需提供有效的企业法人营业执照副本或事业单位法人证书的复印件，所提供资质文 (略) 于有效期内；境外投标人应提供在境外当地有效的注册登记证明材料；

（2）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书，授权书接受以下两种形式之一：

①制造商原厂授权；

②制 (略) 或者一级代理商对投标人进行授权（须提供制造 (略) 或者一级代理商关系的证明文件）；

（3）投标人提供售后服务承诺书；

（4）本项目不接受联合体投标；

（5）未领购招标文件不可以参加投标。

三、招标文件的领取：

（1）招标文件领取时间：2024年11月20日09时00分到2024年11月26日17时00分；

（2）招标文件领取方法：凡有意参加本项目者,请登录 (略) （http://**）完成注册（无需办理付费会员），然后选择相应的项目缴费购买即可。

提示：①免费注册流程：访问“ (略) ”（http://**）点击上方【注册】-【境内投标人注册】-录入投标人信息并提交审核（已注册过的投标人直接进入“报名流程”）；

②报名流程：访问“ (略) ”（http://**）点击上方【登录】-【我要报名】-【输入项目编号】-【报名】-填写报名信息；

③标书费缴纳流程：在投标人主界面点击【项目管理】-【我参与的项目】-【标书费】-【购物车勾选缴纳标书费】-【提交订单】-完成支付。

注意：我公司将为购买招标文件的投标人开具电子发票，并推送至投标人下单时预留的电子邮箱，请务必确保邮箱地址正确。注册、报名及缴费问题可联系咨询电话：4006-722-788， (略) 站操作指引：“ (略) ”首页【帮助中心】-【下载专栏】。

（3）招标文件价格：RMB1000/USD160。

四、投标文件的递交及开标时间地点：

（1）投标文件递交截止时间：2024年12月10日10时00分（北京时间）；

（2）投标文件递交地址：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼开标厅；

（3）投标文件递交方式：邮寄或现场递交（备注：若采用邮寄方式递交的，因邮寄过程导致的投标问题由投标人自己承担）；

（4）开标地点：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼开标厅。

五、发布公告的媒介

（1）中国 (略) （http://**）；

（2）中国 (略) （http://**）。

六、联系方式：

招标人：中国 (略)

地址： (略) (略) 白金大道3388号

联系人：赵女士（联系时间范围：工作日9:00-17:00）

电子邮箱：*@*ttp://**

邮编：(略)

联系电话：0851-(略)、(略)

招标代理机构：中航技 (略) （中航技 (略) 贵州分公司）

地址：贵州省贵阳国家经济技 (略) 西南环线110号盐业大厦（瑞源大厦）8楼

联系人：项目二部（段云鹏）

电子邮箱：*@*q.com

邮编：(略)

联系电话：0851-(略)（报名咨询）、(略)（业务）