电子束曝光用扫描电子显微镜系统采购公告
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电子束曝光用扫描电子显微镜系统采购公告
| 项目名称 | 电子束曝光用扫描电子显微镜系统 | 项目编号 | HITSZWJ(略) |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | (略) | 公告截止日期 | (略) |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 合同签订后15天内支付70%预付款，验收合格后支付剩余30%货款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后120个工作日内 |
| 预 算 | (略).0 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨工业大学（深圳） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 电子束曝光用扫描电子显微镜系统 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 中科科仪 |
|---|---|
| 型号 | EBL-6900 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | (略).0 |
| 技术参数及配置要求 | 1、电子枪：预对中钨灯丝电子枪，分辨率SE ≤*@*0kV；SE ≤*@*kV；BSE≤*@*0KV； 2、放大倍率：1-(略) 倍。 3、加速电压: 0.2-30kV可调， 0-30kV连续可调，0-10 kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV。 4、探针电流：0～2000 nA 发射电流≥150μA，接收电流≥1nA。 5、透镜系统:三级高性能锥形透镜系统，一体式屏蔽设计，无辐射泄露，预留束闸接口。 6、真空系统：全自动真空系统，具备真空互锁功能，样品仓室极限真空度优于5×10-4 Pa，一般工作环境下真空度优于3×10-3 Pa，抽真空时间：≤3 分钟 7、探测器 ·高真空二次电子探测器 ·四分割大面积半导体BSE探测器 ·红外CCD摄像头 8、最大图片分辨率:16K*16K 9、配有EBL图形发生器输入接口 10、物镜光阑：具有虚光阑、实光阑双物镜光阑设计，光阑孔数量≤3个，可真空外调节和更换，更换时无需拆卸镜筒，便于维护。 11、预留六硼化镧灯丝接口 12、最大样品直径Ф175mm，最大样品高度35mm 13、样品室可拓展接口数量：提供≥8个扩展接口，可以外接各品牌 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多种探测器或原位测试附件 14、五轴自动样品台，平移行程X≥80mm,Y≥50mm,Z≥30mm，T≥-10°～+90°，R=360°，样品台有碰撞报警功能 15、扫描速度不小于81档可调 16、图像存储格式TIF、BMP、JPG、PNG、SEM，SEM格式可追溯拍照束流 17、计算机配置为主流品牌工作站，其配置不低于I7-(略)，16G 500G SSD+1TB DVDT400，4G显卡24LED，DP接口，Windows10中文专业版，光电鼠标，键盘。 18、电镜自带软件可控制阴极荧光探测器 19、仪器顶部配置三组调节旋钮，仪器同时具备电子束电对中及机械对中两种调节模式。 20、配置光学导航功能，最大光学放大倍数≥100倍 21、配置电子束束闸；5V （TTL） 消隐脉冲输入；400V最大偏转电压；最大脉冲频率1MHz，开关时间 ≤15ns（10%-90%沿变时间），延迟时间≤50±10ns。 22、输入频率范围：≤1MHz |
| 售后服务 | 无 |
| 项目名称 | 电子束曝光用扫描电子显微镜系统 | 项目编号 | HITSZWJ(略) |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | (略) | 公告截止日期 | (略) |
| 采购单位 | 哈尔滨工业大学（深圳） | 付款方式 | 合同签订后15天内支付70%预付款，验收合格后支付剩余30%货款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后3个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后120个工作日内 |
| 预 算 | (略).0 | ||
| 收货地址 | 哈尔滨工业大学（深圳） | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 电子束曝光用扫描电子显微镜系统 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 中科科仪 |
|---|---|
| 型号 | EBL-6900 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | (略).0 |
| 技术参数及配置要求 | 1、电子枪：预对中钨灯丝电子枪，分辨率SE ≤*@*0kV；SE ≤*@*kV；BSE≤*@*0KV； 2、放大倍率：1-(略) 倍。 3、加速电压: 0.2-30kV可调， 0-30kV连续可调，0-10 kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV。 4、探针电流：0～2000 nA 发射电流≥150μA，接收电流≥1nA。 5、透镜系统:三级高性能锥形透镜系统，一体式屏蔽设计，无辐射泄露，预留束闸接口。 6、真空系统：全自动真空系统，具备真空互锁功能，样品仓室极限真空度优于5×10-4 Pa，一般工作环境下真空度优于3×10-3 Pa，抽真空时间：≤3 分钟 7、探测器 ·高真空二次电子探测器 ·四分割大面积半导体BSE探测器 ·红外CCD摄像头 8、最大图片分辨率:16K*16K 9、配有EBL图形发生器输入接口 10、物镜光阑：具有虚光阑、实光阑双物镜光阑设计，光阑孔数量≤3个，可真空外调节和更换，更换时无需拆卸镜筒，便于维护。 11、预留六硼化镧灯丝接口 12、最大样品直径Ф175mm，最大样品高度35mm 13、样品室可拓展接口数量：提供≥8个扩展接口，可以外接各品牌 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多种探测器或原位测试附件 14、五轴自动样品台，平移行程X≥80mm,Y≥50mm,Z≥30mm，T≥-10°～+90°，R=360°，样品台有碰撞报警功能 15、扫描速度不小于81档可调 16、图像存储格式TIF、BMP、JPG、PNG、SEM，SEM格式可追溯拍照束流 17、计算机配置为主流品牌工作站，其配置不低于I7-(略)，16G 500G SSD+1TB DVDT400，4G显卡24LED，DP接口，Windows10中文专业版，光电鼠标，键盘。 18、电镜自带软件可控制阴极荧光探测器 19、仪器顶部配置三组调节旋钮，仪器同时具备电子束电对中及机械对中两种调节模式。 20、配置光学导航功能，最大光学放大倍数≥100倍 21、配置电子束束闸；5V （TTL） 消隐脉冲输入；400V最大偏转电压；最大脉冲频率1MHz，开关时间 ≤15ns（10%-90%沿变时间），延迟时间≤50±10ns。 22、输入频率范围：≤1MHz |
| 售后服务 | 无 |
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