激光直写采购公告

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激光直写采购公告

项目名称 激光直写 项目编号 HITSZWJ(略)
公告开始日期 (略) 公告截止日期 (略)
采购单位 哈尔滨工业大学(深圳) 付款方式 合同签订后15日内预付70%,设备到货验收合格后支付30%
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后3个工作日内 到货时间要求 签约后90个工作日内
预 算 (略).0
收货地址 哈尔滨工业大学(深圳)
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
激光直写 1
品牌 合肥芯碁
型号 点击查看>>
品牌2
型号
品牌3
型号
预算 (略).0
技术参数及配置要求 光源类型:LD375nm; 光源功率:≥2.6W; 光源寿命:≥(略)小时(激光上电时间); 能量均匀性:≥95%(功率计测试) (略) 支持:≥8英寸; 光刻幅面:≥200mm x200mm; 写入速度:≥250mm2/min; 最小结构尺寸:0.6μm; 基板厚度:0.2~4mm; 数据格式:支持多种数据格式输入(GDS/DXF/CTF/Gerber/BMP/TIFF); 自动对焦功能:具备; 网格精度:≥45nm; 套刻精度:±0.5um; 拼接误差:±100nm(显影后测量); 曝光功能:支持快速、精细两种曝光模式;
售后服务

报价地址:http://**
项目名称 激光直写 项目编号 HITSZWJ(略)
公告开始日期 (略) 公告截止日期 (略)
采购单位 哈尔滨工业大学(深圳) 付款方式 合同签订后15日内预付70%,设备到货验收合格后支付30%
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 成交后3个工作日内 到货时间要求 签约后90个工作日内
预 算 (略).0
收货地址 哈尔滨工业大学(深圳)
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
激光直写 1
品牌 合肥芯碁
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品牌2
型号
品牌3
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预算 (略).0
技术参数及配置要求 光源类型:LD375nm; 光源功率:≥2.6W; 光源寿命:≥(略)小时(激光上电时间); 能量均匀性:≥95%(功率计测试) (略) 支持:≥8英寸; 光刻幅面:≥200mm x200mm; 写入速度:≥250mm2/min; 最小结构尺寸:0.6μm; 基板厚度:0.2~4mm; 数据格式:支持多种数据格式输入(GDS/DXF/CTF/Gerber/BMP/TIFF); 自动对焦功能:具备; 网格精度:≥45nm; 套刻精度:±0.5um; 拼接误差:±100nm(显影后测量); 曝光功能:支持快速、精细两种曝光模式;
售后服务

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