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国产科研型镀膜设备采购公告
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：（2）技术指标：
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | ||
硬件和性能参数 | 1. 镀Au/In/Sn等材料,设备专用避免In、Sn污染； 2. 不少于四个沉积位置，镀膜室极限真空度优于5E-5Pa； 3. 配备保护内罩和防污染装置，避免材料之间的相互污染； 4. 样片尺寸：最大可放置尺寸8inch样片； 5. 配置分子泵，对N2的抽速不小于1100L/S； 6. 配置机械泵，对的抽速不小于35m3/h，额定转速不小于1750rpm； 7. 配备3inch靶安装孔位； 8. 薄膜均匀性≤±2%； 9. 配备全量程和皮拉尼真空计； 10. 配备膜厚监测装置，可自动实现沉积的开启和关断； 11. 样品台可升降旋转，并且可加热至800摄氏度，预留离子源安装位置实现样品刻蚀； 12. 配备基于PC和PLC的软件，软件框架； 13. 控制软件集成多种设备的控制功能，可执行手动和全自动工艺流程，采用前端wpf与后端C++分离的开发方式，架构合理清晰，符合SECS/GEM标准； | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理，合理收取维修费。 4、质保期2年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 | |
（3）数量：
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 国产科研型镀膜设备 | 1套 |
（4）交货期：合同签订后60天内
（5）交货地点：北京航空 (略) 路37号第一馆
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）：*元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间：2024年11月28日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2024年11月29日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
11月28日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址： (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆
常老师收，手机号：*
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常老师，邮箱：*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，*@*ttp://**或010-*（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（1）货物名称：（2）技术指标：
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | ||
硬件和性能参数 | 1. 镀Au/In/Sn等材料,设备专用避免In、Sn污染； 2. 不少于四个沉积位置，镀膜室极限真空度优于5E-5Pa； 3. 配备保护内罩和防污染装置，避免材料之间的相互污染； 4. 样片尺寸：最大可放置尺寸8inch样片； 5. 配置分子泵，对N2的抽速不小于1100L/S； 6. 配置机械泵，对的抽速不小于35m3/h，额定转速不小于1750rpm； 7. 配备3inch靶安装孔位； 8. 薄膜均匀性≤±2%； 9. 配备全量程和皮拉尼真空计； 10. 配备膜厚监测装置，可自动实现沉积的开启和关断； 11. 样品台可升降旋转，并且可加热至800摄氏度，预留离子源安装位置实现样品刻蚀； 12. 配备基于PC和PLC的软件，软件框架； 13. 控制软件集成多种设备的控制功能，可执行手动和全自动工艺流程，采用前端wpf与后端C++分离的开发方式，架构合理清晰，符合SECS/GEM标准； | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。 3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理，合理收取维修费。 4、质保期2年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 | |
（3）数量：
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 国产科研型镀膜设备 | 1套 |
（4）交货期：合同签订后60天内
（5）交货地点：北京航空 (略) 路37号第一馆
（6）是否接受进口产品：否
2、采购预算（最高限价）：*元
3、参选单位资格要求：
（1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（3）本项目不接受联合体响应；
（4）本项目不允许转包、分包；
（5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间：2024年11月28日17时。
5、竞价会时间及方式：
时间：2024年11月29日；方式：采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
11月28日18:00前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址： (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆
常老师收，手机号：*
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常老师，邮箱：*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师，*@*ttp://**或010-*（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
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