采购项目名称：磁控溅射镀膜设备
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：1、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢方型前开门真空室腔体 1 套（内部尺寸 400*450mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）（通过烘烤照明灯管可实现内烘烤 100～150℃）前后门配 DN100 视窗 1 套； 2) 底部：4 英寸磁控靶接口套，600L/S 分子泵接口 1 套，CF25 照明接口 2 套； 3) 顶部：样品台接口 1 套，气动挡板接口 1 套； 4) 左侧：KF40 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 2、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢真空室腔体 1 套（内部尺寸 300*40mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）前、后门，门配 DN100视窗 1 套； 2) 左侧：KF25 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 3、磁控溅射系统：1 套 1) 磁控靶：4 英寸永磁靶 1 套，预留一个 4 寸靶位； 2) 磁控靶电源：射频电源（500W）1 台； 3) 溅距：靶与样品距离 80～180mm 手动连续可调，并有调位距离指示； 4) 隔离：靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。 4、样品台系统：1 套 1) 可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速 0～20 转／分连续可调）； 2) 托架：样品托架 4 寸（根据客户要求调节）； 3) 挡板：样品托架气动挡板。 5、真空泵机组：1 套 1) 600L/S 水冷脂润滑分子泵 1 台； 2) 8L/S 旋片泵 1 台； 3) CF150 高真空电动插板阀 1 台； 4) KF40 高真空气动挡板阀 2 台； 5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台； 6) KF40 泵阀连接软管 1 套，KF40 三通 1 套； 7) 复合真空计 1 台
质保期：36个月
供应商报名地址：点击进入

采购项目名称：磁控溅射镀膜设备
采购单位： (略) 清华大学
付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后3个工作日内
交货地址： (略) 清华大学
技术参数及配置要求：1、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢方型前开门真空室腔体 1 套（内部尺寸 400*450mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）（通过烘烤照明灯管可实现内烘烤 100～150℃）前后门配 DN100 视窗 1 套； 2) 底部：4 英寸磁控靶接口套，600L/S 分子泵接口 1 套，CF25 照明接口 2 套； 3) 顶部：样品台接口 1 套，气动挡板接口 1 套； 4) 左侧：KF40 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 2、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢真空室腔体 1 套（内部尺寸 300*40mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）前、后门，门配 DN100视窗 1 套； 2) 左侧：KF25 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 3、磁控溅射系统：1 套 1) 磁控靶：4 英寸永磁靶 1 套，预留一个 4 寸靶位； 2) 磁控靶电源：射频电源（500W）1 台； 3) 溅距：靶与样品距离 80～180mm 手动连续可调，并有调位距离指示； 4) 隔离：靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。 4、样品台系统：1 套 1) 可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速 0～20 转／分连续可调）； 2) 托架：样品托架 4 寸（根据客户要求调节）； 3) 挡板：样品托架气动挡板。 5、真空泵机组：1 套 1) 600L/S 水冷脂润滑分子泵 1 台； 2) 8L/S 旋片泵 1 台； 3) CF150 高真空电动插板阀 1 台； 4) KF40 高真空气动挡板阀 2 台； 5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台； 6) KF40 泵阀连接软管 1 套，KF40 三通 1 套； 7) 复合真空计 1 台
质保期：36个月
供应商报名地址：点击进入