项目名：晶圆气相分解系统设备（VPD） 招标公告
编号：无
日期：2024-11-28
采购单位：联合微 (略)

日 期：2024年 11 月 28 日

招标编号：0722-244JT2795ZB7

项目名称：晶圆气相分解系统设备（VPD）

中国 (略) 受联合微 (略) 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 11 月 28 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况：全新晶圆气相分解系统设备（VPD）1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 项目实施地点： (略) (略) 西园南街20号

2.2设备主要功能：

(1)适用于晶圆表面金属杂质的化学提取，兼容8英寸和12英寸晶圆。

(2)晶圆传片、腐蚀、扫描、干燥、取样实现全流程自动化。

(3)系统要有硬盘存储数据功能，软件操作系统流畅，无频繁死机情况。

(4)设备控制电脑需配备冗余硬盘备份。

(5)设备满足联合微电子三相380V/208V或单相220V的供电要求。

(6)设备支 (略) 络通讯协议。

(7)设备具有半导体SEMI SII认证，具有安全提示标识，比如化学腐蚀等。

2.3交货时间：自合同签订后的8个月内完成设备发货，设备装机完成不超过到货后的30个工作日。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2制造商为国外厂商的则接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书；制造商为国内厂商的只接受原厂参与投标，不接受代理商投标。

3.3本次招标不接受转包、分包或联合体投标。

3.4应标型号设备在2022年以来至今国内8寸&12寸晶圆FAB厂的装机数量不少于5台，且需要提供证据证明（采购合同、验收报告、客户联系方式）。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3.6投标人未 (略) 的黑名单，需提供自我声明；

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2024年 11 月 28 日

4.2 招标文件领购结束时间：2024年 12 月 5日

4.3 招标文件领购地点： (略) (略) 五里店嘉景园B座14-1

4.4 招标文件售价：500人民币/套

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2024年 12 月 19 日14：00 分,投标文件递交时间：2024年 12 月19日13：30分－2024年12月19日14 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) (略) 西园南街20号联合微 (略) 会议室

5.3 开标地点： (略) (略) 西园南街20号联合微 (略) 会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国 (略) 》、 (略) （http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国 (略) 上完成注册，中标情况将在《中国 (略) 》、 (略) （http://**）”上公布。

7.联系方式

招标人：联合微 (略)

地址： (略) (略) 西园南街20号

联系人：汪思成

电话：*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) (略) 五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静、尹奕

电话：023-*、*

8.其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*

项目名：晶圆气相分解系统设备（VPD） 招标公告
编号：无
日期：2024-11-28
采购单位：联合微 (略)

日 期：2024年 11 月 28 日

招标编号：0722-244JT2795ZB7

项目名称：晶圆气相分解系统设备（VPD）

中国 (略) 受联合微 (略) 委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024年 11 月 28 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况：全新晶圆气相分解系统设备（VPD）1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 项目实施地点： (略) (略) 西园南街20号

2.2设备主要功能：

(1)适用于晶圆表面金属杂质的化学提取，兼容8英寸和12英寸晶圆。

(2)晶圆传片、腐蚀、扫描、干燥、取样实现全流程自动化。

(3)系统要有硬盘存储数据功能，软件操作系统流畅，无频繁死机情况。

(4)设备控制电脑需配备冗余硬盘备份。

(5)设备满足联合微电子三相380V/208V或单相220V的供电要求。

(6)设备支 (略) 络通讯协议。

(7)设备具有半导体SEMI SII认证，具有安全提示标识，比如化学腐蚀等。

2.3交货时间：自合同签订后的8个月内完成设备发货，设备装机完成不超过到货后的30个工作日。

3.投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2制造商为国外厂商的则接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书；制造商为国内厂商的只接受原厂参与投标，不接受代理商投标。

3.3本次招标不接受转包、分包或联合体投标。

3.4应标型号设备在2022年以来至今国内8寸&12寸晶圆FAB厂的装机数量不少于5台，且需要提供证据证明（采购合同、验收报告、客户联系方式）。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3.6投标人未 (略) 的黑名单，需提供自我声明；

4.招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2024年 11 月 28 日

4.2 招标文件领购结束时间：2024年 12 月 5日

4.3 招标文件领购地点： (略) (略) 五里店嘉景园B座14-1

4.4 招标文件售价：500人民币/套

5.投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2024年 12 月 19 日14：00 分,投标文件递交时间：2024年 12 月19日13：30分－2024年12月19日14 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点： (略) (略) 西园南街20号联合微 (略) 会议室

5.3 开标地点： (略) (略) 西园南街20号联合微 (略) 会议室

6.发布公告的媒体

本项目公告在《中国 (略) 》、 (略) （http://**）”上发布，投标人在投标前需在中国 (略) 上完成注册，中标情况将在《中国 (略) 》、 (略) （http://**）”上公布。

7.联系方式

招标人：联合微 (略)

地址： (略) (略) 西园南街20号

联系人：汪思成

电话：*

招标机构：中国 (略)

地址： (略) (略) 五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静、尹奕

电话：023-*、*

8.其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：中国 (略)

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国 (略) 北京玉泉支行

行号：*