晶片薄膜应力仪设备采购公告

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晶片薄膜应力仪设备采购公告

1. 采购货物有关信息

1、采购货物相关信息:

(1)货物名称:(2)技术指标:

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

晶片薄膜应力仪


硬件和性能参数

提供薄膜应力测试,如图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等;液晶基板玻璃等;可实现各类薄 (略) 理的表面后应力测试

1. *薄膜应力测试范围:1 MPa-*MPa;

2. *曲率半径测试范围:2-*m;

3. 曲率半径重复精度(室温):≤±1 % (1σ);

4. *样品最大尺寸:≤8英寸,向下兼容6、4、2英寸;

5. 扫描最小步长:0.1mm;

6. 样品台:电动360°旋转样品台(室温);

7. 基本原理:曲率法Stoney公式;

8. *主要方法:采用双波长激光对样品进行扫描测量;635nm/670nm波长,功率≥5mW;

9. 主要功能:自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;

10. 标准样片:光路系统校验片

a) 6英寸标准曲率镜一块(3m曲率半径)

b) 6英寸标准平面镜一块

c) 第三方计量报告

11. *操作软件:可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;视窗界面/适用于Windows 10 系统;


2

售后服务


售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在8小时内响应,72小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。

3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理,合理收取维修费。

4、质保期2年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。


(3)数量:1

序号

产品

数量/单位

1

晶片薄膜应力仪

1套

(4)交货期:合同签订后90天内

(5)交货地点:北京航空 (略) 路37号第一馆

(6)是否接受进口产品:否

2、采购预算(最高限价):*

3、参选单位资格要求:

(1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

(2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

① 具有独立承担民事责任的能力;

② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

(3)本项目不接受联合体响应;

(4)本项目不允许转包、分包;

(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间:2024年12月8日17时。

5、竞价会时间及方式:

时间:2024年12月9日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

12月8日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄或送至以下地址:

地址: (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆

雷老师收,手机号:*

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

雷老师,邮箱:*@*ttp://**

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,*@*ttp://**或010-*(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

窗体底端



1. 采购货物有关信息

1、采购货物相关信息:

(1)货物名称:(2)技术指标:

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

晶片薄膜应力仪


硬件和性能参数

提供薄膜应力测试,如图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等;液晶基板玻璃等;可实现各类薄 (略) 理的表面后应力测试

1. *薄膜应力测试范围:1 MPa-*MPa;

2. *曲率半径测试范围:2-*m;

3. 曲率半径重复精度(室温):≤±1 % (1σ);

4. *样品最大尺寸:≤8英寸,向下兼容6、4、2英寸;

5. 扫描最小步长:0.1mm;

6. 样品台:电动360°旋转样品台(室温);

7. 基本原理:曲率法Stoney公式;

8. *主要方法:采用双波长激光对样品进行扫描测量;635nm/670nm波长,功率≥5mW;

9. 主要功能:自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;

10. 标准样片:光路系统校验片

a) 6英寸标准曲率镜一块(3m曲率半径)

b) 6英寸标准平面镜一块

c) 第三方计量报告

11. *操作软件:可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;视窗界面/适用于Windows 10 系统;


2

售后服务


售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在8小时内响应,72小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。

3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理,合理收取维修费。

4、质保期2年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。


(3)数量:1

序号

产品

数量/单位

1

晶片薄膜应力仪

1套

(4)交货期:合同签订后90天内

(5)交货地点:北京航空 (略) 路37号第一馆

(6)是否接受进口产品:否

2、采购预算(最高限价):*

3、参选单位资格要求:

(1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

(2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

① 具有独立承担民事责任的能力;

② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

(3)本项目不接受联合体响应;

(4)本项目不允许转包、分包;

(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间:2024年12月8日17时。

5、竞价会时间及方式:

时间:2024年12月9日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

12月8日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄或送至以下地址:

地址: (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆

雷老师收,手机号:*

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

雷老师,邮箱:*@*ttp://**

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,*@*ttp://**或010-*(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)

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