晶片薄膜应力仪设备采购公告
晶片薄膜应力仪设备采购公告
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息:
(1)货物名称:(2)技术指标:
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | 晶片薄膜应力仪 | |
硬件和性能参数 | 提供薄膜应力测试,如图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等;液晶基板玻璃等;可实现各类薄 (略) 理的表面后应力测试 1. *薄膜应力测试范围:1 MPa-*MPa; 2. *曲率半径测试范围:2-*m; 3. 曲率半径重复精度(室温):≤±1 % (1σ); 4. *样品最大尺寸:≤8英寸,向下兼容6、4、2英寸; 5. 扫描最小步长:0.1mm; 6. 样品台:电动360°旋转样品台(室温); 7. 基本原理:曲率法Stoney公式; 8. *主要方法:采用双波长激光对样品进行扫描测量;635nm/670nm波长,功率≥5mW; 9. 主要功能:自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布; 10. 标准样片:光路系统校验片 a) 6英寸标准曲率镜一块(3m曲率半径) b) 6英寸标准平面镜一块 c) 第三方计量报告 11. *操作软件:可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;视窗界面/适用于Windows 10 系统; | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在8小时内响应,72小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。 3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理,合理收取维修费。 4、质保期2年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 |
(3)数量:1
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 晶片薄膜应力仪 | 1套 |
(4)交货期:合同签订后90天内
(5)交货地点:北京航空 (略) 路37号第一馆
(6)是否接受进口产品:否
2、采购预算(最高限价):*
3、参选单位资格要求:
(1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
(2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独立承担民事责任的能力;
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(3)本项目不接受联合体响应;
(4)本项目不允许转包、分包;
(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;
(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间:
报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间:2024年12月8日17时。
5、竞价会时间及方式:
时间:2024年12月9日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料:
12月8日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄或送至以下地址:
地址: (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆
雷老师收,手机号:*
7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):
雷老师,邮箱:*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):
邵老师,*@*ttp://**或010-*(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)
窗体底端
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息:
(1)货物名称:(2)技术指标:
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | 晶片薄膜应力仪 | |
硬件和性能参数 | 提供薄膜应力测试,如图形化晶圆、键合晶圆、封装晶圆等;液晶基板玻璃等;可实现各类薄 (略) 理的表面后应力测试 1. *薄膜应力测试范围:1 MPa-*MPa; 2. *曲率半径测试范围:2-*m; 3. 曲率半径重复精度(室温):≤±1 % (1σ); 4. *样品最大尺寸:≤8英寸,向下兼容6、4、2英寸; 5. 扫描最小步长:0.1mm; 6. 样品台:电动360°旋转样品台(室温); 7. 基本原理:曲率法Stoney公式; 8. *主要方法:采用双波长激光对样品进行扫描测量;635nm/670nm波长,功率≥5mW; 9. 主要功能:自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布; 10. 标准样片:光路系统校验片 a) 6英寸标准曲率镜一块(3m曲率半径) b) 6英寸标准平面镜一块 c) 第三方计量报告 11. *操作软件:可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、曲率半径和薄膜应力分布;视窗界面/适用于Windows 10 系统; | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在8小时内响应,72小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。 3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理,合理收取维修费。 4、质保期2年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 |
(3)数量:1
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 晶片薄膜应力仪 | 1套 |
(4)交货期:合同签订后90天内
(5)交货地点:北京航空 (略) 路37号第一馆
(6)是否接受进口产品:否
2、采购预算(最高限价):*
3、参选单位资格要求:
(1)在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
(2)响应人(供应商)应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独立承担民事责任的能力;
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(3)本项目不接受联合体响应;
(4)本项目不允许转包、分包;
(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国 (略) ”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;
(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间:
报名方式:将报名信息(公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱*@*ttp://**。截止报名时间:2024年12月8日17时。
5、竞价会时间及方式:
时间:2024年12月9日;方式:采取视频会议方式。具体时间和开 (略) 采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料:
12月8日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄或送至以下地址:
地址: (略) (略) 北京航空航天 (略) 第一馆
雷老师收,手机号:*
7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):
雷老师,邮箱:*@*ttp://**
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式(异议或投诉):
邵老师,*@*ttp://**或010-*(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)
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