一、项目信息

采购人： 江苏海洋大学

项目名称： 原子层沉积系统维修

拟采购的货物或服务的说明：对原子层沉积系统进行维修

拟采购的货物或服务的预算金额： #.00元

采用单一来源采购方式的原因及说明：原子层沉积系统购买以来设备使用率极高，已经运行7个年头。每年接受6-10名本科生进行毕业设计和大学生创新实践项目，同时每年接纳10名研究生进行科研实验，依托该设备也产生了一大批教学和科研成果。近期在使用过程中发现整个系统压升大，达到10Tor/小时，说明整个系统漏气严重，影响薄膜的沉积质量；沉积腔室污染严重，无法打磨干净；真空度测不准，真空规沉积膜严重。综合以上，需要对设备进行维修维护。经调研，由于是设备维修，而且该设备属于科研用途的非通用设备，管件、腔室尺寸属于定制，另外很多硬件更换后，对应的软/硬件通讯接口只能通过原厂家进行修改，因此该设备的维修最妥善、最经济的方案是由原厂家北京沪光科仪（现 (略) ）完成。因此，该设备维修需采用单一来源方式进行。

二、拟定供应商信息

名称： (略)

地址： (略) (略) 林荫北街13号信息大厦802室

（汪明刚，#）

三、公示期限

2024年12月10日 至 2024年12月17日

四、其他补充事宜：

五、联系方式

1.采购人

联系人： 黄增光

联系地址： 江 (略) (略) (略) (略)

联系电话： #

六、附件

专业人员论证意见

一、项目信息

采购人： 江苏海洋大学

项目名称： 原子层沉积系统维修

拟采购的货物或服务的说明：对原子层沉积系统进行维修

拟采购的货物或服务的预算金额： #.00元

采用单一来源采购方式的原因及说明：原子层沉积系统购买以来设备使用率极高，已经运行7个年头。每年接受6-10名本科生进行毕业设计和大学生创新实践项目，同时每年接纳10名研究生进行科研实验，依托该设备也产生了一大批教学和科研成果。近期在使用过程中发现整个系统压升大，达到10Tor/小时，说明整个系统漏气严重，影响薄膜的沉积质量；沉积腔室污染严重，无法打磨干净；真空度测不准，真空规沉积膜严重。综合以上，需要对设备进行维修维护。经调研，由于是设备维修，而且该设备属于科研用途的非通用设备，管件、腔室尺寸属于定制，另外很多硬件更换后，对应的软/硬件通讯接口只能通过原厂家进行修改，因此该设备的维修最妥善、最经济的方案是由原厂家北京沪光科仪（现 (略) ）完成。因此，该设备维修需采用单一来源方式进行。

二、拟定供应商信息

名称： (略)

地址： (略) (略) 林荫北街13号信息大厦802室

（汪明刚，#）

三、公示期限

2024年12月10日 至 2024年12月17日

四、其他补充事宜：

五、联系方式

1.采购人

联系人： 黄增光

联系地址： 江 (略) (略) (略) (略)

联系电话： #

六、附件

专业人员论证意见