膜厚仪设备采购项目国际招标公告1
膜厚仪设备采购项目国际招标公告1
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 膜厚仪设备 | 3台 | 用于无损自动测量硅片与碳化硅片上膜层(多晶,氧化层,PSG,BPSG,光刻胶等)的膜层厚度、折射率n、消光系数k。详见技术规格书。 | ★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 膜厚仪设备 | 3台 | 用于无损自动测量硅片与碳化硅片上膜层(多晶,氧化层,PSG,BPSG,光刻胶等)的膜层厚度、折射率n、消光系数k。详见技术规格书。 | ★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
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