12英寸集成电路制造项目国际招标公告2/130
12英寸集成电路制造项目国际招标公告2/130
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2240HZHFC001/125 | 退火-低压化学蒸汽沉积机 | 1台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 3000人民币或500美元 |
4197-2240HZHFC001/129 | 金属层-反应离子刻蚀机、介电层-原子层刻蚀机 | 2台、1台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | (略)人民币或3250美元 |
4197-2240HZHFC001/130 | 干法去胶机 | 3台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 5000人民币或850美元 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2240HZHFC001/125 | 退火-低压化学蒸汽沉积机 | 1台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 3000人民币或500美元 |
4197-2240HZHFC001/129 | 金属层-反应离子刻蚀机、介电层-原子层刻蚀机 | 2台、1台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | (略)人民币或3250美元 |
4197-2240HZHFC001/130 | 干法去胶机 | 3台 | 要求产品结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。产品使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | 5000人民币或850美元 |
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