高真空磁控溅射镀膜仪
高真空磁控溅射镀膜仪
项目编号 | BA# | 项目名称 | 高真空磁控溅射镀膜仪 |
---|---|---|---|
经办人单位 | 电子科 (略) | 经办人 | 王海 |
预算金额 | #.00 人民币 | 成交金额 | #.00 人民币 |
成交供应商 | 北京 (略) | 质保期 | 24 月 |
联系地址 | (略) - (略) - (略) | 采购单位 | 吉林大学电子科 (略) |
付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
供应商联系手机 | # | 交货时间 | 成交单签订后60天内交货 |
交货地址 | 吉林省- (略) -前进大街2699号吉林 (略) 唐敖庆楼D126 | ||
交货方式 | #方免费将产品送达#方用户单位指定地点。 | ||
包装及运费 | 由#方免费提供及承担 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以#方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | 1. 电话远程技术支持服务: 客户在维护设备过程中,遇到自己不能解决的问题时,通过电话,传真,email向服务人员提出服务请求,服务人员接到技术支持的服务请求后,将在约定的服务等级规定响应时间内通过电话支持服务进行响应,然后根据故障现象划分故障的等级,帮助客户进行故障定位,并提出解决方案,最终指导客户排除设备故障,问题直接进入“紧急故障排除服务”。 服务承诺:响应时间<=30分钟;电话支持响应时间是指接到服务最初问题报告到客户工程师通过电话向用户确认服务请求的时间。 2.紧急故障排除服务: 指客户遇到设备出现严重影响系统可用性或者出现系统已经全部瘫痪等无法正常运行时间超过30分钟或使用产品造成的对人身安全的危害的问题,客户按照服务指南,通 (略) 服务需求技术支持和帮助,服务人员确认用户的服务请求后,服务工程师以最短时间进行系统恢复。 7*24小时受理问题紧急排除服务请求。 3.产品保修期为两年。 响应时间 1.质量免费保修期内免费为用户提供合同货物的原厂技术指导和维修服务,提供此项服务的时间是:每周(7)天*(24)小时,接到报修电话后0.5小时内电话响应。 | ||
采购材料 | 自主采购评审报告.jpg |
采购品目 | 金属喷涂设备 | 品牌名称 | 北京 (略) |
---|---|---|---|
名称 | 高真空磁控溅射镀膜仪 | 产地及生产商 | 北京-北京 (略) |
规格型号 | SD-650MH | 数量 | 1 |
计量单位 | 个 | 保修年限 | 2 年 |
单价 | #.00 人民币 | 总价 | #.00 人民币 |
主要技术参数 | 仪器主机尺寸: 长610mm×宽420mm×高220mm 工作腔室尺寸:金属腔体:直径260mm×高270mm(外尺寸 ) 直径210mm×高270mm(内尺寸) 靶头 靶材尺寸:直径50mm×厚3mm 靶材料:标配一块直径50mm×3mm的铜靶 靶枪冷却方式:水冷 靶头工作方式:各靶可独立/共同工作,采用磁控靶从上向下溅射镀膜; 真空系统:分子泵+直联高速旋片式真空泵,抗冲击涡轮分子泵,抽速为 300L/s 极限真空度: 5×10-5Pa 电源:标配:直流恒流电源:输入电压:220V,输出电压:0-600V,输出电流:0-1.6A 载样台:可旋转,直径200mm,0-20转/分钟(可调) 工作气体:Ar等惰性气体 气路:气路可以通过电磁流量阀触摸屏与手动阀联动控制。 水冷:自循环冷却水机 均匀性靶材均匀度直径50mm内,金属类膜厚均匀度±3% 膜厚仪监控范围0~6000纳米。可监控速率0.001纳米/秒。 |
吉林大学招标与备案(采购)管理中心 | 设 备 类:林老师: 0431-# 工 程 类:白老师: 0431-# 服务及其他货物:李老师: 0431-# |
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项目编号 | BA# | 项目名称 | 高真空磁控溅射镀膜仪 |
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经办人单位 | 电子科 (略) | 经办人 | 王海 |
预算金额 | #.00 人民币 | 成交金额 | #.00 人民币 |
成交供应商 | 北京 (略) | 质保期 | 24 月 |
联系地址 | (略) - (略) - (略) | 采购单位 | 吉林大学电子科 (略) |
付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
供应商联系手机 | # | 交货时间 | 成交单签订后60天内交货 |
交货地址 | 吉林省- (略) -前进大街2699号吉林 (略) 唐敖庆楼D126 | ||
交货方式 | #方免费将产品送达#方用户单位指定地点。 | ||
包装及运费 | 由#方免费提供及承担 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以#方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | 1. 电话远程技术支持服务: 客户在维护设备过程中,遇到自己不能解决的问题时,通过电话,传真,email向服务人员提出服务请求,服务人员接到技术支持的服务请求后,将在约定的服务等级规定响应时间内通过电话支持服务进行响应,然后根据故障现象划分故障的等级,帮助客户进行故障定位,并提出解决方案,最终指导客户排除设备故障,问题直接进入“紧急故障排除服务”。 服务承诺:响应时间<=30分钟;电话支持响应时间是指接到服务最初问题报告到客户工程师通过电话向用户确认服务请求的时间。 2.紧急故障排除服务: 指客户遇到设备出现严重影响系统可用性或者出现系统已经全部瘫痪等无法正常运行时间超过30分钟或使用产品造成的对人身安全的危害的问题,客户按照服务指南,通 (略) 服务需求技术支持和帮助,服务人员确认用户的服务请求后,服务工程师以最短时间进行系统恢复。 7*24小时受理问题紧急排除服务请求。 3.产品保修期为两年。 响应时间 1.质量免费保修期内免费为用户提供合同货物的原厂技术指导和维修服务,提供此项服务的时间是:每周(7)天*(24)小时,接到报修电话后0.5小时内电话响应。 | ||
采购材料 | 自主采购评审报告.jpg |
采购品目 | 金属喷涂设备 | 品牌名称 | 北京 (略) |
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名称 | 高真空磁控溅射镀膜仪 | 产地及生产商 | 北京-北京 (略) |
规格型号 | SD-650MH | 数量 | 1 |
计量单位 | 个 | 保修年限 | 2 年 |
单价 | #.00 人民币 | 总价 | #.00 人民币 |
主要技术参数 | 仪器主机尺寸: 长610mm×宽420mm×高220mm 工作腔室尺寸:金属腔体:直径260mm×高270mm(外尺寸 ) 直径210mm×高270mm(内尺寸) 靶头 靶材尺寸:直径50mm×厚3mm 靶材料:标配一块直径50mm×3mm的铜靶 靶枪冷却方式:水冷 靶头工作方式:各靶可独立/共同工作,采用磁控靶从上向下溅射镀膜; 真空系统:分子泵+直联高速旋片式真空泵,抗冲击涡轮分子泵,抽速为 300L/s 极限真空度: 5×10-5Pa 电源:标配:直流恒流电源:输入电压:220V,输出电压:0-600V,输出电流:0-1.6A 载样台:可旋转,直径200mm,0-20转/分钟(可调) 工作气体:Ar等惰性气体 气路:气路可以通过电磁流量阀触摸屏与手动阀联动控制。 水冷:自循环冷却水机 均匀性靶材均匀度直径50mm内,金属类膜厚均匀度±3% 膜厚仪监控范围0~6000纳米。可监控速率0.001纳米/秒。 |
吉林大学招标与备案(采购)管理中心 | 设 备 类:林老师: 0431-# 工 程 类:白老师: 0431-# 服务及其他货物:李老师: 0431-# |
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