福建省CVD刻蚀终点检测设备简称EPD国际招标公告1/02包
福建省CVD刻蚀终点检测设备简称EPD国际招标公告1/02包
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-01-21在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD) 69套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/02
招标项目名称:CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD)
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD) | 69套 | (1)阵列TEG主要用于阵列段M2/Final工艺后电学特性测试,主要测量项目有:晶体管特性、关电流 、开电流 、阈值电压 、电容值 、电阻值等;(2)设备组成:镜头及配套支架、分光仪、光纤、网线;(3)镜头对准方向可调;可调范围>±15°。 | 0730-*/02 |
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-01-21在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD) 69套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/02
招标项目名称:CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD)
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | CVD刻蚀终点检测设备(简称EPD) | 69套 | (1)阵列TEG主要用于阵列段M2/Final工艺后电学特性测试,主要测量项目有:晶体管特性、关电流 、开电流 、阈值电压 、电容值 、电阻值等;(2)设备组成:镜头及配套支架、分光仪、光纤、网线;(3)镜头对准方向可调;可调范围>±15°。 | 0730-*/02 |
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