金属退火炉国际招标公告1/01
金属退火炉国际招标公告1/01
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 金属退火炉 | 1台 | (1)金属退化炉主要功能为在LTPS工艺中,改善金属膜层电阻特性,提升LTPS性能。 (2)基板尺寸:1500mm(宽)*1850mm(长);基板厚度:0.3~0.8mm; (3)系统总重量:≤50吨,本系统设计的单点支撑脚最高荷重要求≤2.8吨。 | 0730-#-01 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 金属退火炉 | 1台 | (1)金属退化炉主要功能为在LTPS工艺中,改善金属膜层电阻特性,提升LTPS性能。 (2)基板尺寸:1500mm(宽)*1850mm(长);基板厚度:0.3~0.8mm; (3)系统总重量:≤50吨,本系统设计的单点支撑脚最高荷重要求≤2.8吨。 | 0730-#-01 |
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