福建省数字曝光机国际招标公告2/01包
福建省数字曝光机国际招标公告2/01包
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-01-27在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:数字曝光机 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-(略)/01
招标项目名称:数字曝光机
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 数字曝光机 | 1台 | (1)本设备主要用于TFT LCD工艺中,生产UV Mask时对涂布光刻胶后基板进行曝光。(2)Mark对位精度:≤±10μm,寻边对位精度:≤20μm(3)分辨率(Resolution)/解析精度 ≤15μm,极限解析精度≤10μm | 0730-(略)-01 |
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-01-27在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:数字曝光机 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-(略)/01
招标项目名称:数字曝光机
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 数字曝光机 | 1台 | (1)本设备主要用于TFT LCD工艺中,生产UV Mask时对涂布光刻胶后基板进行曝光。(2)Mark对位精度:≤±10μm,寻边对位精度:≤20μm(3)分辨率(Resolution)/解析精度 ≤15μm,极限解析精度≤10μm | 0730-(略)-01 |
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