采购氧化物金属有机化学气相沉积设备项目国际招标公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
\ | 氧化物金属有机化学气相沉积设备 | 1台 | 用于外延生长镓系氧化物薄膜材料,包括Ga2O3、AlGaO、以及它们的三元混晶和p-、n-型掺杂材料。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
\ | 氧化物金属有机化学气相沉积设备 | 1台 | 用于外延生长镓系氧化物薄膜材料,包括Ga2O3、AlGaO、以及它们的三元混晶和p-、n-型掺杂材料。 |
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