武汉华日精密激光股份有限公司应用于集成电路制造检测的高亮度极紫外相干光源
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武汉华日精密激光股份有限公司应用于集成电路制造检测的高亮度极紫外相干光源
| 项目代码： | 点击查看>> - * - 点击查看>> | 项目名称： | (略) 华日 (略) 应用于集成电路制造检测的高亮度极紫外相干光源 |
| 单位名称： | (略) 华日 (略) | 项目法人： | 何立东 |
| 建设地点： | (略) 省 (略) 市 (略) (略) 园路 * 号2号楼3层 | 申报单位经济类型： | 股份制企业 |
| (略) 属行业： | 制造业 - 计算机、通信和其他电子设备制造业 - 电子器件制造 - 光电子器件制造 | 项目总投资（万元）： | * |
| 建设性质： | 新建 | 计划开工时间： | 点击查看>> |
| 审核状态： | 尚未审核 | ||
| 主要建设规模及内容： | 建设规模：高功率飞秒 (略) * 平方面积；\r\n?\r\n建设内容：在线缺陷检测技术与设备是保证IC制造质量和良率的唯 * 有效技术手段，光学检测具有高效率、无破坏、高精度的优点，是IC制造在线检测主要设备，然而极紫外波段检测光源国内尚属空白。 | ||
| 项目代码： | 点击查看>> - * - 点击查看>> | 项目名称： | (略) 华日 (略) 应用于集成电路制造检测的高亮度极紫外相干光源 |
| 单位名称： | (略) 华日 (略) | 项目法人： | 何立东 |
| 建设地点： | (略) 省 (略) 市 (略) (略) 园路 * 号2号楼3层 | 申报单位经济类型： | 股份制企业 |
| (略) 属行业： | 制造业 - 计算机、通信和其他电子设备制造业 - 电子器件制造 - 光电子器件制造 | 项目总投资（万元）： | * |
| 建设性质： | 新建 | 计划开工时间： | 点击查看>> |
| 审核状态： | 尚未审核 | ||
| 主要建设规模及内容： | 建设规模：高功率飞秒 (略) * 平方面积；\r\n?\r\n建设内容：在线缺陷检测技术与设备是保证IC制造质量和良率的唯 * 有效技术手段，光学检测具有高效率、无破坏、高精度的优点，是IC制造在线检测主要设备，然而极紫外波段检测光源国内尚属空白。 | ||
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